[实用新型]一种用于制备12吋单晶棒的加料装置

权利要求书

1.一种用于制备12吋单晶棒的加料装置，其特征在于：包括加料筒（1）、提拉机构、法兰（2）及保护层（3），所述加料筒（1）的外壁设有一层所述保护层（3），所述设有保护层（3）的加料筒（1）外套设有所述法兰（2），所述提拉机构贯穿于所述加料筒（1）内部，其中：

所述保护层（3）为特氟龙胶布层；

所述加料筒（1）的直径为250-300mm；

所述加料筒（1）的高度为2400mm。

2.根据权利要求1所述的用于制备12吋单晶棒的加料装置，其特征在于：所述加料筒（1）的直径为290mm。

3.根据权利要求1所述的用于制备12吋单晶棒的加料装置，其特征在于：所述提拉机构包括上提升杆（4）、下提升杆（5）及石英锥（6），所述下提升杆（5）设置于所述加料筒（1）内，所述下提升杆（5）的下端设有所述石英锥（6），所述石英锥（6）的下部伸出加料筒（1）的下端口，所述下提升杆（5）向上伸出加料筒（1）的上端口与所述上提升杆（4）连接，所述上提升杆（4）的上端用于与外部提拉装置上的籽晶绳套连接。

4.根据权利要求1所述的用于制备12吋单晶棒的加料装置，其特征在于：所述加料筒（1）为石英筒。

5.根据权利要求1所述的用于制备12吋单晶棒的加料装置，其特征在于：所述法兰（2）与炉体副室中炉体喉口的卡盘（7）相适配。

6.根据权利要求1所述的用于制备12吋单晶棒的加料装置，其特征在于：该加料装置与炉体中导流筒下口留有安全距离，安全距离为35mm。