[实用新型]石英舟有效

专利信息
申请号: 202122132435.X 申请日: 2021-09-03
公开(公告)号: CN215517745U 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 顾小英;狄聚青;赵青松;牛晓东;朱刘 申请(专利权)人: 安徽光智科技有限公司
主分类号: C30B28/08 分类号: C30B28/08;C30B29/08
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 张向琨
地址: 239004 安徽省滁州市琅琊区琅琊经济*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 石英
【说明书】:

本公开提供一种石英舟,其具有头部内壁面、尾部内壁面、两侧部内壁面以及底面,头部内壁面、尾部内壁面、两侧部内壁面以及底面形成具有开口的内腔,底面面对开口,石英舟还具有斜挡板,斜挡板相对头部内壁面靠近尾部内壁面;斜挡板在两侧部内壁面相对的方向上连接于两侧部内壁面,斜挡板在底部连接于底面,斜挡板具有第一面、第二面以及顶面;第一面面向头部内壁面且与头部内壁面间隔开,第二面面向尾部内壁面且与尾部内壁面间隔开,顶面将第一面和第二面连接且位于内腔内;斜挡板的第一面从底面朝向开口并朝向尾部内壁面倾斜。在区熔制备锗多晶时,锗料会沿着斜挡板流入斜挡板后面,从而避免锗料从石英舟中溢出到石英管上,避免石英管破裂。

技术领域

本公开涉及材料制造领域,尤其涉及一种石英舟。

背景技术

提纯超高纯锗多晶的石英舟在区熔过程中随着区熔次数的增加,尾部锗料会越来越多,区熔至尾部时,尾部锗料易从石英舟溢出到石英管导致裂管,且杂质易堆积在尾部。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题,本公开的目的在于提供一种石英舟,其能适用于在区熔制备锗多晶中将含有杂质的尾部的锗料收集,避免尾部锗料从石英舟中外溢,进而避免装载石英管破裂。

由此,在一些实施例中,一种石英舟具有头部内壁面、尾部内壁面、两侧部内壁面以及底面,头部内壁面、尾部内壁面、两侧部内壁面以及底面形成具有开口的内腔,底面面对开口,石英舟还具有斜挡板,斜挡板相对头部内壁面靠近尾部内壁面;斜挡板在两侧部内壁面相对的方向上连接于两侧部内壁面,斜挡板在底部连接于底面,斜挡板具有第一面、第二面以及顶面;第一面面向头部内壁面且与头部内壁面间隔开,第二面面向尾部内壁面且与尾部内壁面间隔开,顶面将第一面和第二面连接且位于内腔内;斜挡板的第一面从底面朝向开口并朝向尾部内壁面倾斜。

在一些实施例中,斜挡板的第一面与底面的夹角大于90度小于180度。

在一些实施例中,斜挡板的第一面与底面的夹角大于120度小于150度。

在一些实施例中,斜挡板为平板状。

在一些实施例中,斜挡板的顶面为平面。

在一些实施例中,斜挡板还具有第三面和第四面,第三面面向底面,第三面在上端连接于第四面,第三面在下端连接于底面,第三面在两侧部内壁面相对的方向上连接于两侧部内壁面;第四面面向底面,第四面在上端连接于第三面,第四面在下端连接于底面,第四面在两侧部内壁面相对的方向上连接于两侧部内壁面;第三面、第四面、两侧部内壁面以及底面围成空腔。

在一些实施例中,顶面为圆弧面。

在一些实施例中,第二面与底面的交界处倒圆。

在一些实施例中,底面和两侧部内壁面位于斜挡板和尾部内壁面之间的部分、斜挡板的第二面以及尾部内壁面设置有硅膜。

在一些实施例中,尾部内壁面和两侧部内壁面均为从底面向开口向外倾斜的斜面;头部内壁面为垂直于底面的直立面或头部内壁面为从底面向开口向外倾斜的斜面。

本公开的有益效果如下:斜挡板将内腔分成两个部分,由于顶面位于内腔内(即顶面低于开口所处的高度),这两个部分仅在斜挡板的顶面连通,在锗多晶制备过程中,随着区熔次数的增加,石英舟内部的处于尾部的锗料会越来越多,区熔至尾部时,锗料会沿着斜挡板流入斜挡板后面,从而避免锗料从石英舟中溢出到石英管上,避免石英管破裂。此外,与采用直立挡板(即第一面为竖直面的情况)相比,斜挡板锗料流入到内腔的处于斜挡板后方的部分更容易,同时,能够利用斜挡板的斜面,对来自尾部上游(即从尾部朝向头部的部分)的锗料的冷胀的应力能够很好地沿斜挡板释放。

附图说明

图1是根据本公开的第一实施例的石英舟的立体图。

图2是图1的从头部观察的前视图。

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