[实用新型]六自由度微动平台

说明书

本实用新型公开了一种六自由度微动平台，包括：微动板，其水平设置，微动板包括平板，平板的外侧由内到外依次套设有内框体、中框体和外框体；负载板，其水平放置在平板上，负载板与平板转动连接；平升摆动组件，其包括三个第一伸缩件，三个第一伸缩件竖直设置并呈三角形排布，每个第一伸缩件的输出端与外框体的底部抵接；平移组件，其包括两个第二伸缩件，其中一个第二伸缩件的输出端与中框体连接，另一个第二伸缩件的输出端与内框体连接，第一方向和第二方向相互垂直；旋转组件，其固设于外框体上，旋转组件的输出端与负载板连接。本实用新型将平升摆动组件、平移组件和旋转组件分开设置，简化了协调过程，微动精度高。

技术领域

本实用新型涉及多自由度运动平台技术领域。更具体地说，本实用新型涉及一种六自由度微动平台。

背景技术

六自由度微动平台主要用于高精度调整，通过六个自由度的改变，从而将平台上的设备或其它物品准确精密地地移动至合适的位置。

现有六自由度平台包括载物平台，设于平台下方的6个伸缩组件，每个伸缩组件的输出端与载物平台连接。当需要调节平台时，通过操纵伸缩组件控制平台来实现平台的运动。

由于现有的六自由度微动平台需要精确协调六个伸缩组件的运动来完成平台的一个运动轮廓，协调过程复杂，精确度低。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题，并提供至少后面将说明的优点。

本实用新型还有一个目的是提供一种六自由度微动平台，将平升摆动组件、平移组件和旋转组件分开设置，简化了协调过程，微动精度高。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种六自由度微动平台，包括：

微动板，其水平设置，所述微动板包括平板，所述平板的外侧由内到外依次套设有内框体、中框体和外框体，相邻框体之间留有空隙且通过挠性件连接，所述内框体与所述平板连接；

负载板，其水平放置在所述平板上，所述负载板与所述平板转动连接；

平升摆动组件，其包括三个第一伸缩件，所述三个第一伸缩件竖直设于所述微动板的下方并呈三角形排布，每个第一伸缩件的输出端与所述外框体的底部抵接，带动所述微动板在竖直方向移动；

平升摆动组件，其包括三个第一伸缩件，所述三个第一伸缩件竖直设置并呈三角形排布，每个第一伸缩件的输出端与所述外框体的底部抵接，带动所述外框体从而带动所述平板在竖直方向上下移动或摆动；

平移组件，其包括两个第二伸缩件，其中一个第二伸缩件的输出端与所述中框体连接，以驱动所述中框体在第一方向上移动，另一个第二伸缩件的输出端与所述内框体连接，以驱动所述内框体在第二方向上移动，所述第一方向和所述第二方向相互垂直；

旋转组件，其固设于所述外框体上，所述旋转组件的输出端与所述负载板连接，以驱动所述负载板水平旋转。

优选的是，还包括：

安装板，其与所述三个第一伸缩件的顶部固接，所述安装板上设有供所述第一伸缩件的输出端穿过的穿孔；

承载框，其水平设置，所述承载框设于所述微动板和所述平升摆动组件之间，所述承载框的底部与所述三个第一伸缩件的输出端抵接，顶部与所述外框体固接；

支撑板，其水平套设于所述承载框的内部，所述支撑板的底部与所述安装板固接，所述支撑板与所述承载框不接触；

三个弹性板，每个弹性板的一端与所述支撑板的顶部固接，另一端与所述承载框固接，所述三个弹性板与所述三个第一伸缩件一一对应，每个弹性板的另一端位于对应第一伸缩件的输出端的上方。

优选的是，所述第一伸缩件包括：

第一压电电机，其竖直设置；