[实用新型]六自由度微动平台

权利要求书

1.六自由度微动平台，其特征在于，包括：

微动板，其水平设置，所述微动板包括平板，所述平板的外侧由内到外依次套设有内框体、中框体和外框体，相邻框体之间留有空隙且通过挠性件连接，所述内框体与所述平板连接；

负载板，其水平放置在所述平板上，所述负载板与所述平板转动连接；

平升摆动组件，其包括三个第一伸缩件，所述三个第一伸缩件竖直设置并呈三角形排布，每个第一伸缩件的输出端与所述外框体的底部抵接，带动所述外框体从而带动所述平板在竖直方向上下移动或摆动；

平移组件，其包括两个第二伸缩件，其中一个第二伸缩件的输出端与所述中框体连接，以驱动所述中框体在第一方向上移动，另一个第二伸缩件的输出端与所述内框体连接，以驱动所述内框体在第二方向上移动，所述第一方向和所述第二方向相互垂直；

旋转组件，其固设于所述外框体上，所述旋转组件的输出端与所述负载板连接，以驱动所述负载板水平旋转。

2.如权利要求1所述的六自由度微动平台，其特征在于，还包括：

安装板，其与所述三个第一伸缩件的顶部固接，所述安装板上设有供所述第一伸缩件的输出端穿过的穿孔；

承载框，其水平设置，所述承载框设于所述微动板和所述平升摆动组件之间，所述承载框的底部与所述三个第一伸缩件的输出端抵接，顶部与所述外框体固接；

支撑板，其水平套设于所述承载框的内部，所述支撑板的底部与所述安装板固接，所述支撑板与所述承载框不接触；

三个弹性板，每个弹性板的一端与所述支撑板的顶部固接，另一端与所述承载框固接，所述三个弹性板与所述三个第一伸缩件一一对应，每个弹性板的另一端位于对应第一伸缩件的输出端的上方。

3.如权利要求2所述的六自由度微动平台，其特征在于，所述第一伸缩件包括：

第一压电电机，其竖直设置；

支撑块，其设于所述第一压电电机的上方，所述支撑块的底部与所述第一压电电机的输出端固接，另一端固接有球体，所述球体的顶部与所述承载框的底部抵接；

支撑架，其为内部中空，且顶部和底部均敞口的长方体，所述支撑架套设在所述第一压电电机的外侧，所述支撑架与所述第一压电电机固接，所述支撑架的内侧壁竖直设有滑轨，所述支撑块的外侧固设有滑块，所述滑块与所述滑轨滑动卡接。

4.如权利要求3所述的六自由度微动平台，其特征在于，所述安装板的底部与所述支撑架的顶部固接，所述穿孔的直径均大于所述支撑块的长度，所述支撑块穿过对应穿孔，且位于所述支撑块顶部的球体的顶部与所述承载框的底部抵接。

5.如权利要求4所述的六自由度微动平台，其特征在于，还包括弹性件，其设于所述安装板和所述承载框之间，所述弹性件包括竖直设置的至少三个弹簧，所述至少三个弹簧沿所述承载框的周向间隔设置，每个弹簧的底部与所述安装板固接，顶部与所述承载框固接。

6.如权利要求2所述的六自由度微动平台，其特征在于，所述平板上固设有保护罩，所述负载板与所述保护罩的顶部转动连接。

7.如权利要求6所述的六自由度微动平台，其特征在于，所述负载板为圆形板，所述圆形板的边缘设有连接板，所述连接板的一端与所述圆形板固接，另一端与所述旋转组件的输出端连接。

8.如权利要求1所述的六自由度微动平台，其特征在于，所述第二伸缩件为第二压电电机。

9.如权利要求7所述的六自由度微动平台，其特征在于，所述旋转组件包括：

第三压电电机，其固设于所述承载框上；

圆球，其固设于所述第三压电电机的输出端上，所述圆球远离所述第三压电电机的一侧与所述连接板抵接；

拉簧，其水平设置，其一端与所述第三压电电机固接，另一端与所述连接板固接，所述拉簧处于拉伸状态。

10.如权利要求1所述的六自由度微动平台，其特征在于，所述其中一个第二伸缩件固设于所述外框体的顶部，所述另一个第二伸缩件固设于所述中框体的顶部。