[实用新型]一种智能化高效环保真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种智能化高效环保真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型包括基板和真空镀膜机，真空镀膜机安装于基板上表面，真空镀膜机前端面安装有真空检测机体，真空镀膜机内部安装有驱动板，驱动板内部开设有滑槽，滑槽内部转动连接有丝杆，丝杆周侧面螺纹配合有滑座，滑座底面设置有真空检测头，真空检测头与真空检测机体通信连接。本实用新型通过设置驱动板、丝杆、滑座、真空检测头和真空检测机体，实时检测真空室的真空度是否处于稳定状态，保证了镀膜的性能以及稳定性，有效地保护了产品的质量，提升了产品的量产率。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别是涉及一种智能化高效环保真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机工作时，需要先抽真空，使真空室处于真空状态，再进行镀膜；镀膜完成后，需要向真空室充气。

现有的真空镀膜机大多数不具有主动真空检测，无法检测各个位置的真空状态，真空度过高或过低都会影响镀膜的性能，导致生产过程中产品的性能不够稳定，从而影响到产品质量，降低了产品的量产率；因此，提出一种智能化高效环保真空镀膜设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种智能化高效环保真空镀膜设备，解决现有的真空镀膜机大多数不具有主动真空检测，无法检测各个位置的真空状态，真空度过高或过低都会影响镀膜的性能，导致生产过程中产品的性能不够稳定，从而影响到产品质量，降低了产品的量产率的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种智能化高效环保真空镀膜设备，包括基板和真空镀膜机，所述真空镀膜机安装于基板上表面，所述真空镀膜机前端面安装有真空检测机体，所述真空镀膜机内部安装有驱动板，所述驱动板内部开设有滑槽，所述滑槽内部转动连接有丝杆，所述丝杆周侧面螺纹配合有滑座，所述滑座底面设置有真空检测头，所述真空检测头与真空检测机体通信连接，丝杆旋转，丝杆与滑座螺纹配合，从而使滑座横向位移，滑座带动真空检测头对真空室内各个位置进行检测，检测出真空室的真空度是否处于稳定状态，保证了镀膜的性能以及稳定性，有效地保护了产品的质量，提升了产品的量产率。

所述滑槽底面贯穿有通槽，所述滑座与通槽滑动配合，所述滑座底面安装有安装板，所述安装板底面安装有气缸，所述气缸输出端安装真空检测头，气缸带动真空检测头上下升降，提升真空检测头检测的灵活性，保证了真空室内检测更加均匀，数据更加精准，通过真空检测机体可以方便的进行观察。

所述通槽相对两侧壁均设置有密封带。

所述丝杆一端安装有伺服电机，所述真空镀膜机后端面固定连接有置物板，所述伺服电机位于置物板上表面，所述丝杆周侧安装有密封环，所述密封环位置与真空镀膜机相适应，通过伺服电机可以带动丝杆旋转，密封带和密封环提升丝杆位置的密封性，避免外界气体进入真空室内。

所述基板上表面安装有抽气箱，所述抽气箱与真空镀膜机之间连接有抽气管。

所述基板上表面还安装有补气箱，所述补气箱与真空镀膜机之间连接有补气管，抽气箱和补气箱可以对真空室的真空度进行平衡。

所述基板底面固定连接有若干支撑柱。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过设置驱动板、丝杆、滑座、真空检测头和真空检测机体，带动真空检测头对真空室内各个位置进行检测，检测出真空室的真空度是否处于稳定状态，保证了镀膜的性能以及稳定性，有效地保护了产品的质量，提升了产品的量产率；通过气缸带动真空检测头上下升降，提升真空检测头检测的灵活性，保证了真空室内检测更加均匀，数据更加精准；通过设置密封带和密封环，提升丝杆位置的密封性，避免外界气体进入真空室内。