[实用新型]一种智能化高效环保真空镀膜设备

权利要求书

1.一种智能化高效环保真空镀膜设备，包括基板（1）和真空镀膜机（2），其特征在于：所述真空镀膜机（2）安装于基板（1）上表面，所述真空镀膜机（2）前端面安装有真空检测机体（16），所述真空镀膜机（2）内部安装有驱动板（4），所述驱动板（4）内部开设有滑槽（5），所述滑槽（5）内部转动连接有丝杆（6），所述丝杆（6）周侧面螺纹配合有滑座（7），所述滑座（7）底面设置有真空检测头（12），所述真空检测头（12）与真空检测机体（16）通信连接。

2.根据权利要求1所述的一种智能化高效环保真空镀膜设备，其特征在于，所述滑槽（5）底面贯穿有通槽（8），所述滑座（7）与通槽（8）滑动配合，所述滑座（7）底面安装有安装板（10），所述安装板（10）底面安装有气缸（11），所述气缸（11）输出端安装真空检测头（12）。

3.根据权利要求2所述的一种智能化高效环保真空镀膜设备，其特征在于，所述通槽（8）相对两侧壁均设置有密封带（9）。

4.根据权利要求1所述的一种智能化高效环保真空镀膜设备，其特征在于，所述丝杆（6）一端安装有伺服电机（14），所述真空镀膜机（2）后端面固定连接有置物板（13），所述伺服电机（14）位于置物板（13）上表面，所述丝杆（6）周侧安装有密封环（15），所述密封环（15）位置与真空镀膜机（2）相适应。

5.根据权利要求1所述的一种智能化高效环保真空镀膜设备，其特征在于，所述基板（1）上表面安装有抽气箱（17），所述抽气箱（17）与真空镀膜机（2）之间连接有抽气管（18）。

6.根据权利要求1所述的一种智能化高效环保真空镀膜设备，其特征在于，所述基板（1）上表面还安装有补气箱（19），所述补气箱（19）与真空镀膜机（2）之间连接有补气管（20）。

7.根据权利要求1所述的一种智能化高效环保真空镀膜设备，其特征在于，所述基板（1）底面固定连接有若干支撑柱（3）。