[实用新型]压板机构及具有该机构的曝光机有效
| 申请号: | 202121957794.2 | 申请日: | 2021-08-19 |
| 公开(公告)号: | CN215729275U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
| 发明(设计)人: | 周川;张华;林垂真;项铭;吴越;冯军 | 申请(专利权)人: | 杭州新诺微电子有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强;周祥玉 |
| 地址: | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压板 机构 具有 曝光 | ||
本实用新型属于线路板生产技术领域,尤其涉及一种压板机构及具有该机构的曝光机。本实用新型针对现有技术中的压板结构结构复杂,使用不够方便的问题,提供一种压板机构及具有该机构的曝光机,包括安装底座和设置在安装底座上的压板组件,所述压板组件包括上下活动连接在安装底座上的连接件和水平活动连接在连接件上的活动件,且当活动件受外力时,所述的活动件的最外侧和/或活动件远离连接件的最远端的位置相对于连接件移动。本实用新型的通过施外力至活动件上使得活动件发生移动,以对待曝光的PCB板的侧边缘进行压紧,结构简单,使用方便。
技术领域
本实用新型属于线路板生产技术领域,尤其涉及一种压板机构及具有该机构的曝光机。
背景技术
直写光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分。吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对PCB制版的实际生产制造有着重要影响。在使用直写光刻机进行PCB制版时,由于光刻机自身焦深有限,所以都会要求曝光面有较高的平面度。除了对吸盘等有较高的平面要求外,对PCB板材也有平面度要求。但是由于种种原因,PCB板材或多或少会有边缘翘曲问题,导致仅仅依靠吸盘的吸附力无法将PCB板材吸平。
针对这一问题,人们在长期的生产生活实践中也进行了探索研究,例如,中国发明专利申请公开了一种直写光刻机吸盘压板装置[申请号:201910262132.4],该发明专利申请安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构;所述固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板;所述移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆;所述前挂板组件和后挂板组件的结构相同,均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸;所述压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。
该发明申请移动压杠通过吸盘左右两边的传动机构同步运行来实现移动压杆的前后移动,再由气缸带动移动压杆进行压板。结构非常复杂,使用起来也不够方便。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对上述问题,提供一种结构简单使用方便的压板机构。
本实用新型另一目的是针对上述问题,提供一种具有结构简单使用方便的压板机构的曝光机。
为达到上述目的,本实用新型采用了下列技术方案:
一种压板机构,包括安装底座和设置在安装底座上的压板组件,所述压板组件包括上下活动连接在安装底座上的连接件和水平活动连接在连接件上的活动件,且当活动件受外力时,所述的活动件的最外侧和/或活动件远离连接件的最远端的位置相对于连接件移动。
在上述的压板机构中,所述活动件包括若干根首尾相连且相互转动连接的杆体,且至少一个杆体与连接件转动连接,所述活动件与连接件首尾连接呈框体状。
在上述的压板机构中,所述杆体设有三根,包括依次转动连接的主动连杆、压板连杆和被动连杆,所述主动连杆远离压板连杆的一端与连接件转动连接,所述被动连杆远离压板连杆的一端与连接件转动连接;
或所述杆体设有三根,包括依次转动连接的主动连杆、压板连杆和被动连杆,所述连接件上还设有驱动电机,所述驱动电机固定连接在连接件底面且驱动电机的输出轴贯穿过连接件,所述主动连杆远离压板连杆的一端与驱动电机的输出轴相连接,所述被动连杆远离压板连杆的一端与连接件转动连接。
在上述的压板机构中,所述连接件呈杆状或板状,所述主动连杆、压板连杆和被动连杆以及连接件依次相连形成平行四边形,且压板连杆与连接件相平行;所述压板连杆底面凸出有压板台阶,压板台阶一体成型于压板连杆远离连接件的一侧底面且压板台阶底部具有水平设置的压板面。
在上述的压板机构中,所述安装底座上还设有用于驱动压板组件升高或降低的驱动组件,所述驱动组件一端固定连接在安装底座上,另一端连接在压板组件上。
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