[实用新型]压板机构及具有该机构的曝光机有效
| 申请号: | 202121957794.2 | 申请日: | 2021-08-19 |
| 公开(公告)号: | CN215729275U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
| 发明(设计)人: | 周川;张华;林垂真;项铭;吴越;冯军 | 申请(专利权)人: | 杭州新诺微电子有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强;周祥玉 |
| 地址: | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压板 机构 具有 曝光 | ||
1.一种压板机构,包括安装底座(1)和设置在安装底座(1)上的压板组件(2),其特征在于:所述压板组件(2)包括上下活动连接在安装底座(1)上的连接件(21)和水平活动连接在连接件(21)上的活动件(22),且当活动件(22)受外力时,所述的活动件(22)的最外侧和/或活动件(22)远离连接件(21)的最远端的位置相对于连接件(21)移动;
所述活动件(22)包括若干根首尾相连且相互转动连接的杆体,且至少一个杆体与连接件(21)转动连接,所述活动件(22)与连接件(21)首尾连接呈框体状;
所述安装底座(1)上还设有用于驱动压板组件(2)升高或降低的驱动组件(3),所述驱动组件(3)一端固定连接在安装底座(1)上,另一端连接在压板组件(2)上。
2.如权利要求1所述的压板机构,其特征在于:所述杆体设有三根,包括依次转动连接的主动连杆(221)、压板连杆(222)和被动连杆(223),所述主动连杆(221)远离压板连杆(222)的一端与连接件(21)转动连接,所述被动连杆(223)远离压板连杆(222)的一端与连接件(21)转动连接。
3.如权利要求1所述的压板机构,其特征在于:所述杆体设有三根,包括依次转动连接的主动连杆(221)、压板连杆(222)和被动连杆(223),所述连接件(21)上还设有驱动电机(224),所述驱动电机(224)固定连接在连接件(21)底面且驱动电机(224)的输出轴贯穿过连接件(21),所述主动连杆(221)远离压板连杆(222)的一端与驱动电机(224)的输出轴相连接,所述被动连杆(223)远离压板连杆(222)的一端与连接件(21)转动连接。
4.如权利要求2或3所述的压板机构,其特征在于:所述连接件(21)呈杆状或板状,所述主动连杆(221)、压板连杆(222)和被动连杆(223)以及连接件(21)依次相连形成平行四边形,且压板连杆(222)与连接件(21)相平行。
5.如权利要求2或3所述的压板机构,其特征在于:所述压板连杆(222)底面凸出有压板台阶(225),压板台阶(225)一体成型于压板连杆(222)远离连接件(21)的一侧底面且压板台阶(225)底部具有水平设置的压板面(226)。
6.如权利要求1所述的压板机构,其特征在于:所述驱动组件(3)包括固定连接在安装底座(1)上的驱动气缸(31),驱动气缸(31)的输出轴与压板组件(2)固定连接,所述驱动组件(3)还包括固定连接在压板组件(2)上的滑轨动子(32)和固定连接在安装底座(1)上的滑轨定子(33),所述滑轨动子(32)靠近滑轨定子(33)的一侧表面具有向滑轨动子(32)内部凹陷的导向凹槽,所述滑轨动子(32)滑动连接在导向凹槽内,所述导向凹槽的延伸方向与动气缸(31)输出轴的轴心线相平行。
7.一种曝光机,包括曝光台(100),所述曝光台(100)的两个相邻侧边设有固定点压装置(200),曝光台(100)上表面具有用于放置PCB板(500)的曝光区域(300),其特征在于:所述曝光台(100)上还设有如权利要求1-6任一所述的压板机构,移动压板机构的活动件(22),可使活动件(22)的一端延伸至曝光区域(300)内。
8.如权利要求7所述的曝光机,其特征在于:所述压板机构设置在曝光台(100)未设置固定点压装置(200)的侧边上,且每个未设置固定点压装置(200)的侧边上设有若干个压板机构,所述曝光区域(300)上还设有真空吸孔(400)。
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