[实用新型]一种用于测试CIS晶圆的高温测试设备有效

专利信息
申请号: 202121875855.0 申请日: 2021-08-11
公开(公告)号: CN216288321U 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 尹斌 申请(专利权)人: 苏州矽利康测试系统有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 顾品荧
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 测试 cis 高温 设备
【权利要求书】:

1.一种用于测试CIS晶圆的高温测试设备,其特征在于:包括测试底座(1)和多个测试探针(2),所述测试底座(1)的中心位置设置有嵌入式测试槽(3)且嵌入式测试槽(3)上设置有多个测试孔(4),每个所述测试探针(2)均能卡入到测试孔(4)上,所述测试底座(1)上还设置有多个卡接槽(5)和连接孔组(6),多个所述卡接槽(5)分别均匀的设置在嵌入式测试槽(3)的四周,每个所述连接孔组(6)均位于两个卡接槽(5)之间。

2.根据权利要求1所述一种用于测试CIS晶圆的高温测试设备,其特征在于:每个所述连接孔组(6)均包括设置在测试底座(1)上的第一通孔(61)、第二通孔(62)、第三通孔(63)和第四通孔(64)且第一通孔(61)、第二通孔(62)、第三通孔(63)和第四通孔(64)的孔径依次减小。

3.根据权利要求1所述一种用于测试CIS晶圆的高温测试设备,其特征在于:多个所述测试孔(4)呈多排排列。

4.根据权利要求1所述一种用于测试CIS晶圆的高温测试设备,其特征在于:每个所述测试孔(4)的孔径均由上至下依次减小。

5.根据权利要求1所述一种用于测试CIS晶圆的高温测试设备,其特征在于:还包括防尘盖,所述防尘盖上设置有环形凸块,所述测试底座(1)上还设置有环形凸台,所述环形凸块能卡入环形凸台。

6.根据权利要求1所述一种用于测试CIS晶圆的高温测试设备,其特征在于:还包括测试台,所述测试台上设置有开口和螺母座,所述测试底座(1)上还设置有螺纹孔(7),所述测试底座(1)能卡入开口并能通过螺母座、螺纹孔(7)和螺母组件锁紧在测试台上。

7.根据权利要求1所述一种用于测试CIS晶圆的高温测试设备,其特征在于:所述测试底座(1)上还设置有握持把手。

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