[实用新型]一种可伸缩的连接杆结构

说明书

本申请提供一种可伸缩的连接杆结构，包括：与电机连接的上固定件、与镀锅固定的下固定件和中间件，中间件套设在上固定件外，下固定件套设在中间件外，中间件能够相对于上固定件和下固定件旋转；所述上固定件的圆柱体部的下部具有一个横向的第一通孔并且第一通孔具有内螺纹、底部具有一个纵向的螺纹孔；中间件为中空圆柱体，中间件具有两个对称设置的纵向的第一通槽，中间件的下部具有一个横向的第二通孔并且第二通孔具有内螺纹；下固定件的中空圆柱体部具有两个对称设置的纵向的第二通槽；通过螺丝穿过第一通槽或/和第二通槽插入第一通孔或/和第二通孔调节所述连接杆结构的长度。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种可伸缩的连接杆结构。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。镀锅设置在主腔体的内部的上部，为了增加镀膜的均匀性，使用连接杆结构与电机连接，电机工作，连接杆结构带动镀锅旋转，连接杆结构穿过主腔体的上面板，连接杆结构的上端与电机连接、下端与镀锅固定。但是现有技术的连接杆结构的长度固定，不能够收缩，不方便调节镀锅的高度。

有鉴于此，本实用新型提供一种可伸缩的连接杆结构，能够收缩，能够调节连接杆结构的长度，方便调节镀锅的高度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种可伸缩的连接杆结构，能够收缩，能够调节连接杆结构的长度，方便调节镀锅的高度。

一种可伸缩的连接杆结构，包括：与电机连接的上固定件1、与镀锅固定的下固定件2和设置在上固定件1与下固定件2之间的中间件3，所述中间件3套设在上固定件1外，下固定件2套设在中间件3外，中间件3能够相对于上固定件1和下固定件2旋转；所述上固定件1由上部的电机固定部11和下部的圆柱体部12组成，圆柱体部12的下部具有一个横向的第一通孔13并且第一通孔13具有内螺纹，圆柱体部12的底部具有一个纵向的螺纹孔14；所述中间件3为中空圆柱体，中间件3具有两个对称设置的纵向的第一通槽31，中间件3的下部具有一个横向的第二通孔32并且第二通孔32具有内螺纹；所述下固定件2由上部的中空圆柱体部21和下部的镀锅固定部22组成，中空圆柱体部21具有两个对称设置的纵向的第二通槽23；通过螺丝穿过第一通槽31或/和第二通槽23插入第一通孔13或/和第二通孔32调节所述连接杆结构的长度。

在一些实施方式中，所述连接杆结构还包括垫片4，垫片4的中心处具有第三通孔41，第三通孔41具有内螺纹，上固定件1、下固定件2和中间件3的底面持平处于连接杆结构的完全收缩位置，旋转中间件3使得第一通槽31与第二通槽23对齐，此时第一通孔13与第二通孔32也对齐，螺丝穿过第一通槽31和第二通槽23插入第一通孔13和第二通孔32将连接杆结构固定，同时将垫片4与下固定件2的下表面接触，通过螺丝插入第三通孔41和第一通孔13将连接杆结构进行双重固定，螺栓、螺丝钉或螺柱穿过镀锅固定部22和垫片4与镀锅固定，连接杆结构处于非完全收缩位置则拆除垫片4。