[实用新型]一种激光器的多功能快速测试系统有效

专利信息
申请号: 202121479925.0 申请日: 2021-06-30
公开(公告)号: CN217716869U 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 朱骏;方国明;向思桦 申请(专利权)人: 英飞睿(成都)微系统技术有限公司
主分类号: G01M11/00 分类号: G01M11/00
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 徐静
地址: 610000 四川省成都市双流*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光器 多功能 快速 测试 系统
【权利要求书】:

1.一种激光器的多功能快速测试系统,其特征在于,包括上位机(9)、电源模块(10),以及均固定设置在底板(7)上的激光模块、聚焦镜(2)、光斑分析仪(1)、能量分析仪(4)和光电探测器(5);所述光斑分析仪(1)、所述能量分析仪(4)和所述光电探测器(5)均与所述上位机(9)信号连接;

其中,所述激光模块包括激光器装夹模组(3)和旋转调节台(6);所述激光器装夹模组(3)固定连接在所述旋转调节台(6)上方;所述激光器装夹模组(3)包括激光器(301),所述激光器装夹模组(3)用于更换和固定所述激光器(301);所述电源模块(10)为所述激光器(301)供电;所述旋转调节台(6)用于切换所述激光器(301)的工位,切换所述激光器(301)位于第一工位或第二工位;

所述光斑分析仪(1)、所述聚焦镜(2)和位于第一工位的所述激光器(301)的中心均位于同一条直线上;所述能量分析仪(4)和位于第二工位的所述激光器(301)的中心位于同一条直线上;所述光电探测器(5)的中心与经所述能量分析仪(4)散射的位于第二工位的所述激光器(301)射出的激光束在同一条直线上。

2.根据权利要求1所述的一种激光器的多功能快速测试系统,其特征在于,所述激光器装夹模组(3)还包括至少两个弯折状的弹簧片(302),以及上夹块(303)、下夹块(304);所述上夹块(303)和所述下夹块(304)呈“L”型,所述上夹块(303)和所述下夹块(304)固定连接,在中间形成空腔,所述激光器(301)位于所述空腔内;所述弹簧片(302)一端固定在所述上夹块(303)和/或所述下夹块(304)外侧壁的与所述弹簧片(302)形状适配的凹槽内,一端伸入所述空腔内,对所述激光器(301)施加向内的压力,进行固定。

3.根据权利要求2所述的一种激光器的多功能快速测试系统,其特征在于,有两个所述弹簧片(302),所述上夹块(303)外侧的两侧壁均设置有所述凹槽;两个所述弹簧片(302)一端分别固定连接在两个所述凹槽内,所述弹簧片(302)另一端伸入所述空腔内,给所述激光器(301)施加向内的压力,将所述激光器(301)在Y轴和Z轴方向上定位,固定在所述空腔内。

4.根据权利要求3所述的一种激光器的多功能快速测试系统,其特征在于,所述下夹块(304)在所述空腔内设置有卡槽,所述卡槽的台阶面将所述激光器在X轴方向上进行定位。

5.根据权利要求1所述的一种激光器的多功能快速测试系统,其特征在于,所述旋转调节台(6)包括依次连接的激光器固定座(601)、摆角调节台(602)、旋转座(603)和高度调节台(605);

其中,所述激光器固定座(601)固定连接在所述摆角调节台(602)上部上端,所述摆角调节台(602)下部与所述旋转座(603)之间固定连接;所述旋转座(603)与所述高度调节台(605)之间通过定位板(608)和轴承组件(607)旋转连接,所述旋转座(603)通过所述轴承组件(607)进行旋转调节。

6.根据权利要求5所述的一种激光器的多功能快速测试系统,其特征在于,所述定位板(608)上设置有定位磁铁(606);所述旋转座(603)下方设置有定位铁片(604),在所述旋转座(603)通过所述轴承组件(607)进行旋转的过程中,所述定位磁铁(606)和所述定位铁片(604)吸附进行定位。

7.根据权利要求6所述的一种激光器的多功能快速测试系统,其特征在于,所述定位磁铁(606)有两个,分别沿所述定位板(608)两垂直的侧边设置,且两个所述定位磁铁(606)的中心线互相垂直,将所述旋转座(603)定位在所述第一工位和所述第二工位上。

8.根据权利要求1所述的一种激光器的多功能快速测试系统,其特征在于,所述光斑分析仪(1)、所述聚焦镜(2)、所述能量分析仪(4)和所述光电探测器(5)均通过调节支架(8)固定设置在所述底板(7)上;所述调节支架(8)用于进行高度调节和旋转调节。

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