[实用新型]一种多级下压式芯片检测装置

权利要求书

1.一种多级下压式芯片检测装置，包括检测箱(1)，其特征在于：所述检测箱(1)内部设有测试台(2)，所述测试台(2)上部设有支撑安放芯片的复吸装置；

所述复吸装置包括设有一对在测试台(2)上支撑探头测试芯片时平衡的平衡板(6)，和固定在一对平衡板(6)之间放置芯片的芯片槽(7)，固定连接于芯片槽(7)底部并且与抽风机相连的导管(71)，以及活动在复吸装置上辅助芯片卡位的定位组件，所述芯片槽(7)在放置芯片的槽内开设有多个小孔(72)，并且芯片槽(7)在内部设有使小孔(72)和导管(71)相互连通的集中空腔(73)。

2.根据权利要求1所述的一种多级下压式芯片检测装置，其特征在于：所述芯片槽(7)上表面两侧均开设有滑槽，所述定位组件包括活动在一对滑槽之间的限高槽(8)，滑动在限高槽(8)内腔处与芯片上端接触的压片滑板(91)，以及固定于压片滑板(91)上跟随压片滑板(91)活动时将芯片槽(7)一端覆盖的限位板(9)，所述芯片槽(7)一端设有磁铁(10)，所述限位板(9)上设有与磁铁(10)相吸并且重叠的异性磁铁(11)。

3.根据权利要求2所述的一种多级下压式芯片检测装置，其特征在于：每个所述限高槽(8)上设有使压片滑板(91)活动的滑行轨道，所述滑行轨道设置至少为三条。

4.根据权利要求3所述的一种多级下压式芯片检测装置，其特征在于：所述检测箱(1)顶部设有双轴驱动设备，该双轴驱动设备是由处于检测箱(1)顶部一侧X轴的第一电动导轨(4)与另一侧Y轴的第二电动导轨(5)组成并且进行控制，所述第一电动导轨(4)驱动第二电动导轨(5)左右横移活动，所述第二电动导轨(5)上挂设有测试用的探头，所述第二电动导轨(5)的一侧连接有支撑滑槽(3)。