[实用新型]一种设备安装辅助装置

说明书

本实用新型涉及一种设备安装辅助装置，它包括安装台和位于安装台上方的待安装设备移动机构。本实用新型的目的在于提供一种设备安装辅助装置，可以更加快速便捷地安装待安装设备，减轻工作人员安装或维保维修时的工作强度，消除安全隐患。

技术领域

本实用新型涉及一种设备安装辅助装置。

背景技术

通过化学物质反应而在基片上沉积形成薄膜的技术已获得广泛应用。典型的例子是利用气态物质在固态基片表面进行反应生成薄膜沉积的化学气相沉积(CVD，ChemicalVapor Deposition)。

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)是指等离子体增强化学的气相沉积法。借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。

随着太阳能电池片的外形尺寸越来越大，制造太阳能电池片的PECVD的腔体横向和纵向尺寸也越来越大，腔体的体积则越大，则将腔体抽真空分子泵的功率也需更大。目前市面上的分子泵的体积、重量和功率一般成正比。人员在躺着的情况下搬运分子泵也越困难。目前人们在安装位于下层的分子泵时还是靠人工搬运的方式安装、维护分子泵。人员在平躺的情况下长时间托举着分子泵，存在危险或安装不到位导致真空泄漏的情况。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种设备安装辅助装置，可以更加快速便捷地安装待安装设备，减轻工作人员安装或维保维修时的工作强度，消除安全隐患。

本实用新型的目的通过如下技术方案实现：

本实用新型提供一种设备安装辅助装置，其特征在于：包括安装台和位于安装台上方的待安装设备移动机构。

进一步的，所述安装台包括承载面和位于承载面下方的支撑脚。

进一步的，所述待安装设备移动机构包括待安装设备移动治具，所述待安装设备移动治具上部设有待安装设备支撑座。

进一步的，所述待安装设备移动治具下方设有滑动组件。

进一步的，所述承载面的周圈设有导向框架，所述承载面和导向框架固定连接。

进一步的，所述导向框架高于承载面。

进一步的，所述支撑脚为活动支撑脚。

进一步的，所述支撑脚的下方设置有滚轮。

较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：

(1)本实用新型的设备安装辅助装置设置了待安装设备移动机构，通过将待安装设备安放在待安装设备移动机构上，能确保待安装设备的安装到位，保障连接准确严密，减少工作人员安装或维保维修时的工作强度，保障安装人员在安装时的人身安全。

(2)本实用新型的设备安装辅助装置设置了活动支撑脚，可以根据需要调整活动支撑脚的位置，由于PECVD设备下部空间有限，活动支撑脚可以让设备安装辅助装置更容易地放置到PECVD设备的下部，从而更容易地进行待安装设备的安装。

附图说明

图1是本实用新型的PECVD设备腔体及分子泵安装位置的结构示意图；

图2是本实用新型的一种设备安装辅助装置的结构示意图；

图3是本实用新型的一种分子泵移动机构结构示意图；

图4是本实用新型的分子泵结构示意图；

图5是本实用新型的分子泵与分子泵移动结构的结合示意图；