[实用新型]一种氧化铝陶瓷坩埚及其使用结构

权利要求书

1.一种氧化铝陶瓷坩埚，其特征在于：包括氧化铝陶瓷坩埚、氧化铝陶瓷封帽、硅酸铝陶瓷纤维密封垫片和硅酸铝陶瓷纤维纸层；氧化铝陶瓷坩埚包括从下到上依次相接的籽晶腔、锥部和体部，体部顶部为敞口结构，氧化铝陶瓷封帽螺纹连接在体部顶部，陶瓷纤维密封垫片设在氧化铝陶瓷封帽螺和体部顶部之间；硅酸铝陶瓷纤维纸层活动铺设在氧化铝陶瓷坩埚内侧。

2.如权利要求1所述的氧化铝陶瓷坩埚，其特征在于：体部顶部外围设有外螺纹，氧化铝陶瓷封帽底部设有与体部上外螺纹相互匹配的内螺纹；硅酸铝陶瓷纤维密封垫片包括第一密封垫片和第二密封垫片，第一密封垫片套在体部外螺纹的底部，第二密封垫片置于氧化铝陶瓷封帽内螺纹的顶部。

3.如权利要求1或2所述的氧化铝陶瓷坩埚，其特征在于：锥部角度为90°。

4.权利要求1-3任意一项所述的氧化铝陶瓷坩埚的使用结构，其特征在于：还包括PBN坩埚，PBN坩埚位于硅酸铝陶瓷纤维纸层内侧，且PBN坩埚和硅酸铝陶瓷纤维纸层之间紧密贴合、硅酸铝陶瓷纤维纸层和氧化铝陶瓷坩埚之间紧密贴合；PBN坩埚籽晶腔的底部用氮化硼陶瓷棒密封。

5.如权利要求4所述的使用结构，其特征在于：PBN坩埚锥部与氧化铝陶瓷坩埚锥部角度相同。

6.如权利要求4或5所述的使用结构，其特征在于：硅酸铝陶瓷纤维纸层将PBN坩埚的外侧壁完全覆盖。