[实用新型]一种平面靶材研磨装置

权利要求书

1.一种平面靶材研磨装置，其特征在于：包括箱体（2）、位于箱体（2）内底部的定位组件和位于箱体（2）内顶部的研磨组件；

所述定位组件包括设置在箱体（2）内底部的支撑座（11）和两个相对设置在支撑座（11）上端用于压紧平面靶材（1）的转角下压气缸（10），两个转角下压气缸（10）背离的侧面均水平设有伺服电缸A（12），所述伺服电缸A（12）用于带动转角下压气缸（10）左右移动；

所述研磨组件包括从上到下依次设置在箱体（2）内顶部的水平移动装置、升降装置和旋转装置，所述水平移动装置用于带动升降装置左右移动，所述升降装置用于带动旋转装置上下移动，所述旋转装置竖直设置且输出轴端部水平设有细磨盘（9）。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶材研磨装置，其特征在于：所述转角下压气缸（10）包括活塞杆，所述活塞杆上水平设有压紧杆，且压紧杆与活塞杆形成7形，所述压紧杆底部竖直设有压紧螺栓（13），且压紧螺栓（13）与压紧杆呈倒L形，所述压紧杆底部设有螺纹沉孔，压紧螺栓（13）旋入螺纹沉孔内且能够沿竖直方向螺旋上下移动。

3.根据权利要求1所述的一种平面靶材研磨装置，其特征在于：所述伺服电缸A（12）的推杆与转角下压气缸（10）可拆卸固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种平面靶材研磨装置，其特征在于：所述水平移动装置包括滑轨（4）、伺服电机（7）、滚珠丝杠（3）和螺母座（6），所述滑轨（4）水平设置在箱体（2）内顶部，滑轨（4）上滑动设有滑座（401），所述伺服电机（7）设置在箱体（2）内侧壁上且位于滑轨（4）下方，所述滚珠丝杠（3）水平设置且一端与伺服电机（7）的输出轴连接，另一端与伺服电机（7）相对的侧壁转动连接，所述螺母座（6）设置在滚珠丝杠（3）上，螺母座（6）的上端与滑座（401）可拆卸固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种平面靶材研磨装置，其特征在于：所述升降装置包括伺服电缸B（5），所述伺服电缸B（5）设在螺母座（6）底部且推杆竖直朝下设置，旋转装置设置在伺服电缸B（5）的推杆下端。

6.根据权利要求5所述的一种平面靶材研磨装置，其特征在于：所述旋转装置为调速电机（8）。

7.根据权利要求1所述的一种平面靶材研磨装置，其特征在于：所述细磨盘（9）的直径大于平面靶材（1）的宽度。

8.根据权利要求7所述的一种平面靶材研磨装置，其特征在于：所述细磨盘（9）为金刚石磨盘。