[实用新型]一种显微镜载台晶圆承片治具

说明书

本实用新型提供了一种显微镜载台晶圆承片治具。包括治具本体，所述治具本体上设有晶圆放置部；所述晶圆放置部上设有沉槽，所述沉槽一侧设有延伸至治具本体侧面的缺口。本实用新型通过在治具本体上设置晶圆放置部，便于将晶圆放置在治具本体上，随治具本体移动，便于在显微镜下进行观测；晶圆放置部上设有用于容纳吸笔的沉槽，沉槽一侧设有延伸至治具本体侧面的缺口，便于操作人员将吸笔从治具本体侧面的缺口伸入晶圆下方，对晶圆下表面进行吸附，实现晶圆的转移，避免对晶圆的观测面造成污染。

技术领域

本实用新型涉及检测装置领域，具体涉及一种显微镜载台晶圆承片治具。

背景技术

通过显微镜对晶圆进行观测时，需不断移动晶圆的观测位置，而直接通过人工挪动晶圆，容易导致晶圆表面沾染油污，影响观测结果，若通过吸笔对晶圆上表面进行吸附取放，会导致晶圆上表面沾染污渍；若通过吸笔对晶圆下表面进行吸附取放，吸笔与载台之间会存在干涉，操作不便。

综上所述，急需一种显微镜载台晶圆承片治具以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种显微镜载台晶圆承片治具，以解决在显微镜下观测晶圆时晶圆的取放的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种显微镜载台晶圆承片治具，包括治具本体，所述治具本体上设有晶圆放置部；所述晶圆放置部上设有沉槽，所述沉槽一侧设有延伸至治具本体侧面的缺口。

优选的，所述晶圆放置部上设有弧形挡边。

优选的，所述治具本体上设有手柄。

优选的，所述手柄位于治具本体远离沉槽的缺口的一侧。

优选的，所述手柄上设有防滑纹。

优选的，所述治具本体底面为平面。

优选的，所述治具本体底面设有减阻涂层。

优选的，所述治具本体的材质为绝缘材料。

优选的，所述治具本体的材质为电木板。

应用本实用新型的技术方案，具有以下有益效果：

(1)本实用新型中，通过在治具本体上设置晶圆放置部，便于将晶圆放置在治具本体上，随治具本体移动，便于在显微镜下进行观测；晶圆放置部上设有用于容纳吸笔的沉槽，沉槽一侧设有延伸至治具本体侧面的缺口，便于操作人员将吸笔从治具本体侧面的缺口伸入晶圆下方，对晶圆下表面进行吸附，实现晶圆的转移，避免对晶圆的观测面(即上表面)造成污染。

(2)本实用新型中，通过在晶圆放置部上设置弧形挡边，用以实现对晶圆的圆周侧面的抵靠。

(3)本实用新型中，治具本体上设有手柄，便于操作人员通过手柄移动治具本体和治具本体上的晶圆，用以实现显微镜头下晶圆观测位置的移动。

(4)本实用新型中，手柄位于治具本体远离沉槽的缺口的一侧，便于操作人员从治具本体的一侧放置晶圆，从治具本体的另一侧通过手柄移动治具本体，避免操作人员手持手柄时，晶圆对操作人员的手造成干涉。

(5)本实用新型中，治具本体底面为平面，便于治具本体在载台上移动；治具本体底面设有减阻涂层，用以减少治具本体底面与显微镜载台上表面之间的摩擦力。

(6)本实用新型中，治具本体的材质为绝缘材料，优选材质为电木板，具有较好的绝缘性、不产生静电、耐磨及耐高温等特点，有利于晶圆的防护。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明