[实用新型]超高频静压支撑直线伺服作动器

权利要求书

1.一种超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，包括：

活塞杆，其上的活塞环两侧分别形成有A油腔和B油腔；

作动器缸筒，其内部油路分别与所述A油腔和所述B油腔连通，所述作动器缸筒与所述活塞杆之间形成间隙密封；

前静压轴承，其与所述作动器缸筒轴向固定，在所述前静压轴承内形成至少四个呈径向对称分布且分别与所述作动器缸筒的内部油路连通的前静压轴承油室，所述前静压轴承与所述活塞杆之间形成间隙密封；

后静压轴承，其部分夹紧在所述活塞杆与所述作动器缸筒之间，在所述后静压轴承内形成有至少四个呈径向对称分布且分别与所述作动器缸筒的内部油路连通的后静压轴承油室，所述后静压轴承与所述活塞杆之间形成间隙密封；

阻尼调节器，其安装于所述作动器缸筒上，通过所述作动器缸筒的内部油路分别与所述A油腔和所述B油腔连通，以调节所述A油腔和所述B油腔的压力和流量。

2.根据权利要求1所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，在所述前静压轴承与所述后静压轴承内分别镶嵌有节流器。

3.根据权利要求2所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，所述节流器为小孔节流器。

4.根据权利要求3所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，所述小孔节流器的出口形成有倒角，且与所述前静压轴承、所述后静压轴承成倾斜安装。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，沿所述活塞杆的轴向、所述前静压轴承的轴向、所述后静压轴承的轴向分别分布至少一条阻尼槽。

6.根据权利要求5所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，在所述活塞杆的杆部表面、所述前静压轴承的内壁、所述后静压轴承的内壁分别镀有铬镀层。

7.根据权利要求5所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，所述活塞杆为双出杆结构。

8.根据权利要求5所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，还包括通过螺钉与所述后静压轴承连接的套筒。

9.根据权利要求8所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，在所述套筒内安装有空气调节器。

10.根据权利要求1所述的超高频静压支撑直线伺服作动器，其特征在于，所述活塞杆内置有位移传感器。