[实用新型]一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置

权利要求书

1.一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，包括箱体（1），所述箱体（1）的底部固定连接有底座（2），其特征在于：所述箱体（1）内腔的右下角固定连接有溶液箱（3），所述箱体（1）内壁的前后两侧之间且位于溶液箱（3）的顶部转动连接有滚筒（4），所述滚筒（4）的底部贯穿溶液箱（3）的顶部并延伸至溶液箱（3）的内部，所述箱体（1）的前后两侧之间且位于溶液箱（3）的左侧贯穿滑动连接有引导辊（5），且箱体（1）的前后两侧均开设有与引导辊（5）相适配的滑槽（6），所述箱体（1）的前后两侧之间且位于滑槽（6）左端的底部转动连接有传动辊（7），所述箱体（1）内壁的前后两侧之间且位于传动辊（7）的下方固定连接有向左上方斜向吹风的第一吹气筒（8），所述箱体（1）的左壁且位于传动辊（7）的左侧开设有出料口。

2.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，其特征在于：所述箱体（1）的右上角转动连接有加热烘干箱（9），所述加热烘干箱（9）的左侧呈与滚筒（4）表面平行的弧面，所述加热烘干箱（9）的左侧固定连接有弧形丝网（10），且弧形丝网（10）的右侧缝合有纱布（11）。

3.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，其特征在于：所述箱体（1）内腔的左上角固定连接有机箱（15），且机箱（15）内腔的底部固定连接有鼓风机（16），所述鼓风机（16）的出风口连通有四通管（17），所述四通管（17）的三面分别连通有第一吹风管（18）、第二吹风管（19）和第三吹风管（20），所述第一吹风管（18）的右端与加热烘干箱（9）的左侧连通，所述第二吹风管（19）的一端贯穿箱体（1）的后壁并与第一吹气筒（8）的右侧连通。

4.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，其特征在于：所述箱体（1）内壁的前后两侧之间且位于溶液箱（3）的左上角转动连接有刮板（21），且刮板（21）的右侧与滚筒（4）的表面贴合，所述刮板（21）底部的右侧与溶液箱（3）的顶部之间固定连接有弹簧（22）。

5.根据权利要求4所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，其特征在于：所述箱体（1）内壁的前后两侧之间且位于鼓风机（16）的左侧固定连接有圆筒（28），且圆筒（28）的内部滑动连接有过滤芯（29），所述箱体（1）内壁的后侧且位于过滤芯（29）内表面的后端固定连接有定位环（30），所述箱体（1）的后壁且位于过滤芯（29）内腔的后侧固定连接有滤网（31），所述过滤芯（29）的前侧延伸至箱体（1）的正面，所述鼓风机（16）的进气口与圆筒（28）之间通过抽气管（32）连通。

6.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，其特征在于：所述箱体（1）的右侧与溶液箱（3）的顶部之间贯穿有注液管（33），所述箱体（1）的右侧固定连接有与注液管（33）右端连通的注液斗（34），且注液斗（34）的顶部磁吸有密封盖（35），箱体（1）的背面且位于滑槽（6）的外部固定连接有保护罩（36），所述箱体（1）的正面滑槽（6）的上方固定连接有防护帘（37）。