[实用新型]一种光罩检测装置

说明书

本实用新型公开了一种光罩检测装置，包括移动平台，移动平台底部安装万向轮组件，移动平台上安装光罩载台，光罩载台上端面开设放置槽，放置槽内放置待检测光罩，移动平台上安装伺服电机，伺服电机的电机轴与转轴一端连接，转轴另一端连接光罩载台底端面中心，移动平台上方还安装检测组件，本实用新型结构设计新颖，能够实现对光罩的快速检测，检测效率高，检测成本低。

技术领域

本实用新型涉及光罩检测技术领域，具体为一种光罩检测装置。

背景技术

光罩(英文:Reticle, Mask):在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。业内又称光掩模版、掩膜版，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为:曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。

光罩在使用后需要对表面进行检测，现有的检测装置结构单一，检测效率低，因此，有必要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光罩检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光罩检测装置, 包括移动平台，所述移动平台底部安装万向轮组件，所述移动平台上安装光罩载台，所述光罩载台上端面开设放置槽，所述放置槽内放置待检测光罩，所述移动平台上安装伺服电机，所述伺服电机的电机轴与转轴一端连接，所述转轴另一端连接光罩载台底端面中心，所述移动平台上方还安装检测组件。

优选的，本申请提供的一种光罩检测装置，其中，所述检测组件包括第一安装支架、第二安装支架、第一导向组件、第二导向组件和检测显微镜，所述第一安装支架和第二安装支架对称安装于移动平台上端面两侧，所述检测显微镜安装于支撑架上，所述第一安装支架与支撑架之间安装第一导向组件，所述第二安装支架与支撑架之间安装第二导向组件。

优选的，本申请提供的一种光罩检测装置，其中，所述第一导向组件和第二导向组件结构完全一致，均包括两根导向柱和两个弹簧，两个所述弹簧分别套设于两根导向柱外部。

优选的，本申请提供的一种光罩检测装置，其中，所述支撑架上还安装拉手。

优选的，本申请提供的一种光罩检测装置，其中，所述万向轮组件包括万向轮安装架和包胶轮，所述万向轮安装架安装于移动平台下端面， 所述包胶轮安装于万向轮安装架。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计新颖，能够实现对光罩的快速检测，检测效率高，检测成本低；其中，采用的检测组件能够实现左右移动，方便对光罩的多个区域进行检测，另外，光罩载台能够通过电机带动旋转，进一步提高了光罩检测效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型导向组件安装示意图；

图中：移动平台1、光罩载台2、放置槽3、光罩4、伺服电机5、转轴6、第一安装支架7、第二安装支架8、检测显微镜9、支撑架10、导向柱11、弹簧12、拉手13、万向轮安装架14和包胶轮15。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。