[实用新型]一种光罩检测装置

权利要求书

1.一种光罩检测装置, 包括移动平台（1），其特征在于：所述移动平台（1）底部安装万向轮组件，所述移动平台（1）上安装光罩载台（2），所述光罩载台（2）上端面开设放置槽（3），所述放置槽（3）内放置待检测光罩（4），所述移动平台（1）上安装伺服电机（5），所述伺服电机（5）的电机轴与转轴（6）一端连接，所述转轴（6）另一端连接光罩载台（2）底端面中心，所述移动平台（1）上方还安装检测组件。

2.根据权利要求1所述的一种光罩检测装置，其特征在于：所述检测组件包括第一安装支架（7）、第二安装支架（8）、第一导向组件、第二导向组件和检测显微镜（9），所述第一安装支架（7）和第二安装支架（8）对称安装于移动平台（1）上端面两侧，所述检测显微镜（9）安装于支撑架（10）上，所述第一安装支架（7）与支撑架（10）之间安装第一导向组件，所述第二安装支架（8）与支撑架（10）之间安装第二导向组件。

3.根据权利要求2所述的一种光罩检测装置，其特征在于：所述第一导向组件和第二导向组件结构完全一致，均包括两根导向柱（11）和两个弹簧（12），两个所述弹簧（12）分别套设于两根导向柱（11）外部。

4.根据权利要求2所述的一种光罩检测装置，其特征在于：所述支撑架（10）上还安装拉手（13）。

5.根据权利要求1所述的一种光罩检测装置，其特征在于：所述万向轮组件包括万向轮安装架（14）和包胶轮（15），所述万向轮安装架（14）安装于移动平台（1）下端面，所述包胶轮（15）安装于万向轮安装架（14）。