[实用新型]导电薄膜的振动性能测试装置及测试系统

权利要求书

1.一种导电薄膜的振动性能测试装置，其特征在于，包括：绝缘盖和导电薄片；

所述导电薄片设置于所述绝缘盖且用于连接第一电极，所述绝缘盖被配置成安装用于连接第二电极的所述导电薄膜时，所述导电薄片与所述导电薄膜间隔设置，且能够使所述导电薄膜振动。

2.根据权利要求1所述的振动性能测试装置，其特征在于，所述绝缘盖包括内筒、环形端盖和外筒，所述导电薄片的周缘设置于所述内筒，所述环形端盖的内周缘与所述内筒连接，所述环形端盖的外周缘与所述外筒连接，所述内筒和所述外筒之间形成外腔，所述环形端盖上设置有多个与所述外腔连通的气孔，且所述气孔贯穿所述环形端盖的端面，所述环形端盖的端面用于放置和负压吸附所述导电薄膜的周缘。

3.根据权利要求2所述的振动性能测试装置，其特征在于，所述内筒具有内腔，所述导电薄片的周缘固定于所述内筒的环形端面上，且所述导电薄膜用于设置于所述导电薄片的背离所述内腔的一侧。

4.根据权利要求3所述的振动性能测试装置，其特征在于，所述内筒的环形端面与所述环形端盖的端面在所述内筒上的轴向距离为10μm-1m。

5.根据权利要求3所述的振动性能测试装置，其特征在于，所述内筒具有第一端和第二端，所述第一端连接所述环形端盖，所述第一端的所述环形端面与所述环形端盖的端面在内筒上的轴向距离为10μm-1mm，且所述第一端的所述环形端面朝向所述第二端的方向凹陷。

6.根据权利要求3-5任一项所述的振动性能测试装置，其特征在于，所述导电薄片上设置有多个通孔。

7.根据权利要求6所述的振动性能测试装置，其特征在于，所述导电薄片为金属薄片，所述金属薄片的厚度为1μm-0.5mm。

8.根据权利要求2-5任一项所述的振动性能测试装置，其特征在于，还包括底座，所述底座内具有空腔，所述绝缘盖设置于所述空腔内，且所述外筒与所述底座密封连接，使所述内筒的外壁、所述绝缘盖、所述外筒的内壁和所述底座的内壁形成所述外腔，所述底座上设置有与所述外腔连通的抽气孔。

9.根据权利要求8所述的振动性能测试装置，其特征在于，所述绝缘盖还包括连接环，所述连接环的内周缘连接于外筒的远离所述环形端盖的一侧，所述底座上设置有向外的翻边，所述连接环与所述翻边密封连接。

10.一种导电薄膜的振动性能测试系统，其特征在于，包括导电薄膜和权利要求1-9任一项所述的测试装置，所述导电薄膜设置于所述绝缘盖，并与所述导电薄片间隔设置。