[实用新型]高压Z扫描光学测试系统

权利要求书

1.一种高压Z扫描光学测试系统，其特征在于包括：

光源单元，至少用于提供对待测样品进行照射的入射光束；

扩束准直单元，至少用于对所述入射光束进行扩束准直以形成平行光束；

物镜显微单元，至少用于将经扩束准直后的平行光束进行会聚并导入高压样品平移单元的高压样品腔内；

第一信号接收单元，至少用于接收并测量经扩束准直后的平行光束的初始激光功率；

高压样品平移单元，至少用于为待测样品提供高压测量环境；

第二信号接收单元，至少用于接收并测量经所述高压样品平移单元的高压样品腔内的待测样品出射的出射光束的出射激光功率，以及，获得所述出射光束的Z扫描曲线；

其中，所述扩束准直单元与第一信号接收单元分别设置在入射光束的光路上，所述第二信号接收单元设置在出射光束的光路上。

2.根据权利要求1所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于：所述光源单元包括激光器(1)以及依次设置在激光器(1)发出的入射光束光路上的射频驱动器、声光调制器(2)和光束提升器；

和/或，所述激光器(1)包括光纤激光器。

3.根据权利要求1所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于：所述扩束准直单元包括依次设置在所述入射光束光路上的第一平凸透镜(3)、第一全反射镜(4)、第二平凸透镜(5)和第二全反射镜(6)；

和/或，所述第一平凸透镜(3)和第二平凸透镜(5)的平面一侧朝向第一全反射镜(4)。

4.根据权利要求3所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于：所述物镜显微单元包括显微物镜(11)。

5.根据权利要求4所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于：所述第一信号接收单元包括半反半透镜(7)、第三平凸透镜(8)和第一探测器(9)，所述半反半透镜(7)设置在所述第二全反射镜(6)和显微物镜(11)之间，所述第三平凸透镜(8)设置在所述第一探测器(9)和半反半透镜(7)之间，其中，所述第三平凸透镜(8)的平面一侧朝向所述第一探测器(9)，所述第一探测器(9)还与示波器(18)连接。

6.根据权利要求4所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于：所述高压样品平移单元包括平移台、旋转台、二维组合调节架和高压样品容置机构(12)，所述高压样品容置机构(12)具有用于为待测样品提供高压环境的高压样品腔，所述高压样品容置机构(12)分别与所述平移台、旋转台、二维组合调节架配合，其中，所述二维组合调节架用于调节所述高压样品容置机构(12)的空间位置，所述平移台用于带动所述高压样品容置机构(12)平移，所述旋转台用于使所述高压样品容置机构(12)的端面与入射光束保持垂直；

和/或，所述高压样品容置机构包括金刚石压砧装置。

7.根据权利要求5所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于：所述第二信号接收单元包括依次设置在出射光束光路上的第四平凸透镜(13)、小孔光阑(16)和第二探测器(17)，其中，所述小孔光阑(16)至少用于获得出射光束的闭孔Z扫描曲线，所述第二探测器(17)还与示波器(18)连接。

8.根据权利要求7所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于：所述示波器(18)还与智能终端设备连接；和/或，所述智能终端设备包括电脑(19)。

9.根据权利要求7所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于还包括成像单元，所述成像单元包括半反半透镜(7)、CCD成像装置(10)、第三全反射镜(14)和白光光源(15)，所述第三全反射镜(14)设置在所述第四平凸透镜(13)与小孔光阑(16)之间，所述白光光源发出的白光能够通过所述第三全反射镜(14)反射并照射高压样品容置机构(12)内的待测样品，所述待测样品的成像经半反半透镜(7)反射至CCD成像装置(10)。

10.根据权利要求1所述的高压Z扫描光学测试系统，其特征在于：所述光源单元、扩束准直单元、物镜显微单元、第一信号接收单元、高压样品平移单元、第二信号接收单元安装在光学笼式系统内。