[实用新型]一种用于检测芯片的外观检测装置及外观检测设备

权利要求书

1.一种用于检测芯片的外观检测装置,其特征在于，包括：

多轴移动机构；

视觉定位机构，与所述多轴移动机构传动而能多轴运动，用于检测芯片的水平位置；

高度测量机构，与所述多轴移动机构传动而能多轴运动，用于检测芯片的高度位置；

红外光源，与所述多轴移动机构传动而能多轴运动，用于向芯片表面发射红外光；

红外传感器，与所述多轴移动机构传动而能多轴运动，用于接收芯片表面反射的红外光。

2.根据权利要求1所述的一种用于检测芯片的外观检测装置，其特征在于，所述视觉定位机构包括与所述多轴移动机构传动的相机和装设在所述相机上的镜头。

3.根据权利要求2所述的一种用于检测芯片的外观检测装置，其特征在于，所述视觉定位机构还包括装设在所述相机旁侧的光源，其用于向所述相机的成像处打光。

4.根据权利要求1所述的一种用于检测芯片的外观检测装置，其特征在于，所述高度测量机构包括测高仪。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种用于检测芯片的外观检测装置，其特征在于，所述多轴移动机构包括横向直线模组和装设在所述横向直线模组上并受所述横向直线模组驱动而横向运动的升降直线模组；

其中，所述视觉定位机构、所述高度测量机构、所述红外传感器和所述红外光源顺次横向排列设置，均装设在所述升降直线模组上，并受所述升降直线模组驱动而垂直运动。

6.根据权利要求5所述的一种用于检测芯片的外观检测装置，其特征在于，

所述横向直线模组为滑台气缸、直线电机、滚珠丝杆型直线模组或者同步带型直线模组中的一种；

或者，所述升降直线模组为滑台气缸、直线电机、滚珠丝杆型直线模组或者同步带型直线模组中的一种。

7.根据权利要求6所述的一种用于检测芯片的外观检测装置，其特征在于，所述横向直线模组包括：

底板；

第一滑台，可横向运动地滑动安装在所述底板上，用于安装所述升降直线模组；

滚珠丝杆副，其丝杆装设在转动安装在所述底板上，其丝杆螺母固定设置在所述第一滑台上；

第一电机，安装在所述底板上，并与所述滚珠丝杆副的丝杆传动。

8.根据权利要求7所述的一种用于检测芯片的外观检测装置，其特征在于，所述横向直线模组还包括架设在所述底板上的坦克链支架；所述坦克链支架位于所述滚珠丝杆副的上方，用于安装坦克链。

9.一种芯片外观检测设备，其特征在于，含有权利要求1-8任一所述的一种用于检测芯片的外观检测装置。