[实用新型]一种隔绝水氧的柔性Mini LED显示面板

权利要求书

1.一种隔绝水氧的柔性Mini LED显示面板，为蚀刻阻挡型结构，其特征在于，所述蚀刻阻挡型结构包括像素定义层、Mini LED灯珠和封装层；

所述封装层包括有机固定层和无机薄膜层；

所述有机固定层填充于所述像素定义层与所述Mini LED灯珠的正负极引脚之间的缝隙；

所述无机薄膜层覆盖所述像素定义层、所述有机固定层和所述Mini LED灯珠的同一朝向的侧面上。

2.根据权利要求1所述的一种隔绝水氧的柔性Mini LED显示面板，其特征在于，所述蚀刻阻挡型结构还包括玻璃基板和有源层；

所述玻璃基板和所述有源层之间沿着所述玻璃基板至所述有源层的方向依次沉积有柔性衬底层和器件保护层；

所述封装层还包括有机薄膜层，所述无机薄膜层包括第一无机薄膜层和第二无机薄膜层；

所述第一无机薄膜层覆盖所述像素定义层、所述有机固定层和所述Mini LED灯珠的外侧且仅覆盖所述像素定义层的中间区域；

所述有机薄膜层和所述第二无机薄膜层自下而上依次以包围对应下层的上方及四周的形式沉积在所述像素定义层的外侧。

3.根据权利要求2所述的一种隔绝水氧的柔性Mini LED显示面板，其特征在于，所述第一无机薄膜层和所述第二无机薄膜层均为SiNx、SiO₂或SiNC；

所述有机薄膜层为聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯。

4.根据权利要求2所述的一种隔绝水氧的柔性Mini LED显示面板，其特征在于，所述柔性衬底层为聚酰亚胺或聚甲基二乙醚，所述器件保护层为SiO₂或SiNx。

5.根据权利要求2所述的一种隔绝水氧的柔性Mini LED显示面板，其特征在于，所述蚀刻阻挡型结构还包括电极绝缘层；

所述电极绝缘层位于所述Mini LED灯珠的正负极引脚之间。

6.根据权利要求5所述的一种隔绝水氧的柔性Mini LED显示面板，其特征在于，所述蚀刻阻挡型结构还包括金属栅极、栅极绝缘层、有源层、蚀刻阻挡层、金属源极、金属漏极、公共电极、缓冲层、平坦层、遮光层、电极层和像素定义层；

所述金属栅极具体为在所述器件保护层上沉积的一层金属层经过曝光和蚀刻后形成的Al/Mo结构或者Cu/MoTi结构；

所述栅极绝缘层沉积在所述金属栅极上以及所述器件保护层上除所述金属栅极之外的区域，所述栅极绝缘层为SiO₂或SiNx；

所述有源层具体为在所述栅极绝缘层上沉积的一层金属氧化物层经过曝光和蚀刻形成的结构，所述有源层沉积在所述栅极绝缘层上与所述金属栅极对应的位置，所述有源层为IGZO、IGZTO或IZO材料；

所述蚀刻阻挡层沉积在所述有源层上以及所述栅极绝缘层上除所述有源层之外的区域，且在所述有源层两端对应的位置形成两个蚀刻开孔，所述蚀刻阻挡层为SiO₂或SiNx；

所述金属源极和所述金属漏极均为T型结构且分别填充两个所述蚀刻开孔并与所述有源层形成搭接，所述公共电极位于所述蚀刻阻挡层上靠近所述金属漏极且远离所述金属源极的区域，所述公共电极、所述金属漏极和所述金属源极的顶部高度相持平且均为所述Al/Mo结构或者所述Cu/MoTi结构；

所述缓冲层沉积在包含了所述金属源极、所述金属漏极和所述公共电极的所述蚀刻阻挡层上，并在所述金属漏极和所述公共电极上方形成两个电极开孔，两个所述电极开孔的开孔宽度均小于所述金属漏极和所述公共电极的宽度，所述缓冲层为至少一层的SiO₂/SiNx叠层结构；

所述遮光层、所述平坦层、所述像素定义层和所述封装层依次沉积在所述缓冲层上，且所述遮光层只沉积在所述缓冲层上与所述有源层对应的位置及与所述公共电极和所述金属漏极之间对应的位置，所述遮光层为至少一层的金属Mo，所述平坦层为SiO₂或SiNx，所述像素定义层为聚酰亚胺、乳酸乙酯或丙二醇单甲醚；

所述电极层填充在两个所述电极开孔内，且所述电极层的顶部高度与所述平坦层的顶部高度相持平，所述电极层为ITO、IGZO或AZO材料；

所述电极绝缘层和所述有机固定层均位于所述像素定义层内，所述Mini LED灯珠通过正负极引脚连接在所述电极层上，所述Mini LED灯珠的顶部高度低于所述第一无机薄膜层的顶部高度，所述有机固定层与所述像素定义层等高，所述电极绝缘层为聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯。