[实用新型]真空干燥系统

说明书

本申请公开了真空干燥系统，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。本实用新型具有如下有益效果：利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空，在腔室内形成一个真空的环境，打印后的面板在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。

技术领域

本实用新型涉及显示面板和半导体器件等领域，尤其涉及一种真空干燥系统。

背景技术

在有机材料发光器件制备的制程工艺中，喷墨打印在材料利用率、高分辨率打印和墨滴控制方面，展现了稳定的性能改善，经过长期地研究和开发后，在OLED面板领域获得了大规模的制造应用。由于打印后的膜层固化过程十分复杂，实际在利用喷墨打印制作优质薄膜的过程中，在薄膜表面常会出现“咖啡环”效应，导致成膜不均匀，从而削弱了功能器件的性能，为了避免薄膜表面出现“咖啡环”效应，需要使得打印后的面板在真空的环境下干燥。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题，提出了一种真空干燥系统。

本实用新型采取的技术方案如下：

一种真空干燥系统，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。

本系统中，利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空，这样可以在腔室内形成一个真空的环境，打印后的面板在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。具体第一真空泵与第二真空泵之间通过管道相连接，第一真空泵与箱子内的腔室之间通过管道相连接。

可选的，所述箱子内设置有冷凝板以及升降台，所述冷凝板与升降台均位于腔室内。

可选的，所述升降台包括升降机构以及载台，所述载台固定在所述升降机构上。

集体载台用于放置打印后的面板。

可选的，还包括温度传感器，所述冷凝板以及升降台上均设置有温度传感器。

温度传感器的作用是监测冷凝板以及升降台的温度，温度传感器收集的温度信号反馈给水冷机，冷凝板和升降台可实现温度控制，通过控制温差实现冷凝板与升降台产生对流。

可选的，所述箱子上设置有密封门，所述密封门用于密封腔室。

可选的，所述第一真空泵为分子真空泵，所述第二真空泵为干式真空泵。

可选的，还包括水冷机，所述水冷机与箱子内的冷凝板和升降台之间通过管道相连接。

水冷机的作用是调控冷凝板和升降台的温度。

可选的，还包括支架，所述箱子设置安装在支架上。

支架的作用是支撑箱子。

本实用新型的有益效果是：利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空，在腔室内形成一个真空的环境，打印后的面板在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。

附图说明：

图1是真空干燥系统示意简图；

图2是支架与箱子的配合关系示意图。

图中各附图标记为：1、箱子，101、腔室，2、密封门，3、支架，4、第一真空泵，5、第二真空泵，6、水冷机，7、管道，8、冷凝板，901、升降机构，902、载台，10、面板。

具体实施方式：

下面结合各附图，对本实用新型做详细描述。