[实用新型]一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器

说明书

本实用新型公开了一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，包括有石英管，所述石英管顶部连接有进气管，所述石英管上端一侧连接有出气管，所述石英管内安装有螺旋气管，所述螺旋气管顶端与进气管相连通，所述螺旋气管底端敞口于石英管内下端，所述石英管内位于螺旋气管内侧成型有多个加热棒插管，所述加热棒插管顶端延伸出石英管，所述加热棒插管内插设有加热棒。本实用新型的氮气加热器实现了加热棒的插拔互换，和控制进出罐体压力，减少成本，提高效率。

技术领域：

本实用新型涉及氮气加热技术领域，特别涉及一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器。

背景技术：

将所需的氮气流从初始温度加热到所需要温度的技术，已被广泛应用于化工工业，半导体行业和高等院校许多科研生产实验室，产生的热氮气干燥无水分，不导电，不燃烧，无化学腐蚀性，无污染，安全可靠，被加热氮气升温快。但是，现有氮气加热器的氮素加热管都是使用U型加热器棒与罐体进行焊接处理，这种加热棒的缺点非常明显，加热棒一般工作时效为5000小时，而由于U型加热棒是焊接在加热器里面的，所以加热棒一旦损坏这个加热器只能大修或者报废，在氮气加热器使用过程中，加热棒损坏概率能达到80％，而加热罐损坏概率只有20％左右，一旦加热管出现问题只能大修或者报废，成本过高。

实用新型内容：

本实用新型提供了一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，解决了现有技术中容易损坏，不易维修，成本过高的问题

本实用新型的技术解决措施如下：一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，包括有石英管，所述石英管顶部连接有进气管，所述石英管上端一侧连接有出气管，所述石英管内安装有螺旋气管，所述螺旋气管顶端与进气管相连通，所述螺旋气管底端敞口于石英管内下端，所述石英管内位于螺旋气管内侧成型有多个加热棒插管，所述加热棒插管顶端延伸出石英管，所述加热棒插管内插设有加热棒。

作为优选，所述螺旋气管上下端成型有与石英管固定连接的连接杆。

作为优选，所述进气管处设有温度计和压力计。

作为优选，所述加热棒插管下端延伸至螺旋气管下方，且加热棒插管下端封口。

作为优选，所述进气管内径大小为螺旋气管内径大小的1.5倍～3倍。

作为优选，所述出气管内径大小为螺旋气管内径大小的1.5倍～2倍。

本实用新型的有益效果在于：在进气管处设有温度计和压力计，温度计可以实时观察石英管腔体内气体的温度是否已到所需温度，并能实时观察输入气流压力，确保每次进气压力小于3kg，不会爆裂，防止罐体的损坏；

设置螺旋管气管使由进气管进入的氮气缓缓流动，充分加热，使气体更快速的达到所需温度；

设置多个加热棒插管，其内插设加热棒，使加热棒与氮气分离，使所加热的氮气洁净度更高，同时加热棒损坏只要重新选取一根新的插入就能重新工作，维修方便快捷，解决了先前加热棒损坏只能大修或者报废的尴尬处境，节约了成本。

加热氮气根据热气上升冷气下沉的原理，最后从出气管排出，对硅片进行吹扫。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型石英管1内部结构示意图；

图3为本实用新型的剖面示意图。

图中：1、石英管；2、进气管；3、出气管；4、螺旋气管；5、加热棒插管；6、连接杆。

具体实施方式：

结合附图1-3对本实用新型的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，做进一步说明。