[实用新型]气压传感器及电子设备有效
| 申请号: | 202120511791.X | 申请日: | 2021-03-10 |
| 公开(公告)号: | CN214373078U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
| 发明(设计)人: | 李向光;田峻瑜;方华斌 | 申请(专利权)人: | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号: | G01L11/00 | 分类号: | G01L11/00;G01M3/26;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 田露 |
| 地址: | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 气压 传感器 电子设备 | ||
1.一种气压传感器,其特征在于,所述气压传感器包括:
封装体,所述封装体内具有相互隔离的第一腔体(101)及第二腔体(102);
所述第一腔体(101)开设有第一通气孔(103),所述第二腔体(102)开设有第二通气孔(104);所述第一通气孔(103)的朝向与所述第二通气孔(104)的朝向相反;
第一芯片(105),所述第一芯片(105)设置于所述第一腔体(101)内;
第二芯片(106),所述第二芯片(106)设置于所述第二腔体(102)内。
2.根据权利要求1所述的气压传感器,其特征在于,所述封装体包括基板(107)及壳体(108),所述基板(107)与所述壳体(108)连接;所述壳体(108)包括彼此隔离的第一子壳体及第二子壳体;所述第一子壳体与所述基板(107)围合形成所述第一腔体(101);所述第二子壳体与所述基板(107)围合形成所述第二腔体(102)。
3.根据权利要求2所述的气压传感器,其特征在于,所述第一子壳体远离所述基板(107)开设通孔形成所述第一通气孔(103);所述基板(107)在与所述第二腔体(102)对应的位置处开设通孔形成所述第二通气孔(104)。
4.根据权利要求2所述的气压传感器,其特征在于,所述第一芯片(105)及所述第二芯片(106)均与所述基板(107)电连接。
5.根据权利要求2所述的气压传感器,其特征在于,所述壳体(108)为金属材质的壳体或者为注塑材质的壳体。
6.根据权利要求2所述的气压传感器,其特征在于,第一子壳体的外部在靠近所述第一通气孔(103)处设置有密封件(109)。
7.根据权利要求1所述的气压传感器,其特征在于,所述第一芯片(105)及所述第二芯片(106)均包括ASIC芯片和MEMS芯片。
8.根据权利要求1所述的气压传感器,其特征在于,所述第一腔体(101)内灌设有保护胶(110),所述保护胶(110)覆盖所述第一芯片(105)。
9.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括如权利要求1-8中任一项所述的气压传感器。
10.根据权利要求9所述的电子设备,其特征在于,所述电子设备具有内腔,所述第二通气孔(104)朝向所述内腔设置,所述第一通气孔(103)背离所述内腔设置。
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