[实用新型]一种晶圆内圈基材生产用工装有效
| 申请号： | 202120493186.4 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN214605238U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 林国梁;蔡熙富 | 申请（专利权）人： | 厦门莱蔓新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D5/02 |
| 代理公司： | 厦门佰业知识产权代理事务所(普通合伙) 35243 | 代理人： | 林慕超 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市海沧区翁角西路*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 内圈 基材 生产 用工 | ||
1.一种晶圆内圈基材生产用工装(20)，其特征在于：包括可拆卸连接的上工装件(21)和下工装件(22)，所述上工装件(21)包括第一圆环部(211)和设置于所述第一圆环部(211)内侧的第二圆环部(212)，所述第二圆环部(212)高度小于所述第一圆环部(211)；所述下工装件(22)包括圆柱主体部(221)，所述圆柱主体部(221)开设有一碗型槽，所述碗型槽内进一步开设有第一圆环槽(222)和第二圆环槽(223)。
2.根据权利要求1所述的晶圆内圈基材生产用工装(20)，其特征在于：所述圆柱主体部(221)上且位于所述碗型槽外侧进一步设置有一第三圆环部(224)。
3.根据权利要求2所述的晶圆内圈基材生产用工装(20)，其特征在于：所述第三圆环部(224)上均匀开设有若干个第一固定孔(225)，所述第一圆环部(211)均匀开设有若干个与所述第一固定孔(225)一一对应的第二固定孔。
4.根据权利要求1所述的晶圆内圈基材生产用工装(20)，其特征在于：所述第一圆环槽(222)和所述第二圆环槽(223)同心设置，所述第二圆环槽(223)设置于所述第一圆环槽(222)内侧。
5.根据权利要求4所述的晶圆内圈基材生产用工装(20)，其特征在于：所述第二圆环槽(223)内进一步沿竖直方向开设有至少一个通水孔(226)。
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