[实用新型]相变冷却合页式样品传送车

说明书

本实用新型涉及一种相变冷却合页式样品传送车，包括车体，在车体的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板，在车体上还设置压板，压板的一边通过合页与车体活动连接以实现单侧开合，在压板内设置容腔，在容腔内盛满相变冷却材料。本实用新型满足不同厚度尺寸的镀膜样品的镀膜需求，很好地解决了分体式样品传送车和插槽式样品传送车所面临的问题，而且解决运动部件冷却实施、使用和维护困难的问题。

技术领域

本实用新型镀膜设备技术领域，特别涉及一种相变冷却合页式样品传送车。

背景技术

绕镀的现象是由于样品溅射功率过大或者是蒸镀的材料蒸发速率过快所导致的，正对蒸发/溅射源的样品工艺面和背对蒸发/溅射源的样品非工艺面都会镀上原材料的现象。绕镀现象使得样品的非工艺面镀上膜，对于样品的性能会产生严重影响，在光伏产品、光学产品、和使用物理镀膜（Physical Vapor Deposition，PVD）的电子产品的加工和生产中都是需要杜绝的。

现有真空镀膜设备中使用样品传送车来装载样品在真空腔室内移动从而完成样品的镀膜，现有的样品传送车最普遍的是中间镂空的小车，在做溅射或者蒸镀的时候，为了防止绕镀现象的出现，往往会在放上镀膜样品后，再在样品的非镀膜面盖一片阻挡用的盖板。该方法通过用盖板挡住样品非工艺面来防止绕镀的发生，这种盖板十分的不方便，在蒸镀过程中可能会发生掉落，如果是易碎的盖板，清理起来会非常麻烦；如果是十分坚固的盖板，掉落之后会对设备产生严重损坏。另外，由于镀膜的样品边缘和样品传送车之间会有接触，加在镀膜样品背面的盖板会与样品完全接触，同时对样品施加一个压力。如果镀膜样品本身的刚性不是很强，盖板的压力会导致镀膜样品的形变，从而影响到膜层的质量。

现在市面上还存在一种插槽式的样品传送车，虽然解决了上述分体式样品传送车的两个缺点，但是由于该插槽式的样品传送车的槽口和样品尺寸会紧密贴合，在取放镀膜样品时，样品的边缘和样品传送车插槽的内侧会有不可避免的摩擦，会导致样品破碎或者在样品表面产生划痕；而且插槽式样品传送车用久了之后，由于内部的插槽空间难以完全清理，会导致蒸镀样品无法长时间使用对应尺寸的样品传送车，需要送去专业清理的地方清洗或者重新定制。而且插槽式样品传送车样品的厚度尺寸固定，蒸镀不同厚度的样品需要定制不同插槽尺寸的小车，费时费力。

另一方面，热蒸镀和溅射镀膜过程中往往伴随着显著的热效应，这些热量来自于电热丝加热蒸镀材料或是高能粒子的轰击样品表面，是镀膜过程中所无法避免的。对于有低温镀膜要求的应用，需要对蒸发腔体或样品传递小车做温度控制。冷却整个腔室效果差成本高，另一种冷却传递车的方法虽然效果好，但常用的水冷方式需要有管道连接，因为传递车是运动部件，冷却系统的实施、使用与维护与实际使用都将遇到许多麻烦。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种相变冷却合页式样品传送车，该传送车采用了合页式设计，能有效防止镀膜样品绕镀，而且镀膜样品取放容易简单，取放时不损伤镀膜样品。同时该传送车采用相变冷却技术对处于PVD工艺中的样品进行冷却，这样做的好处是可以直接对放置在小车上的样品进行有效冷却，并且小车仍然是一个独立的部分，不需要冷却管路、冷却水等的辅助和连接，从而且解决运动部件冷却实施、使用和维护困难的问题。

本实用新型是这样实现的，提供一种相变冷却合页式样品传送车，包括车体，在车体的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板，在车体上还设置压板，压板的一边通过合页与车体活动连接以实现单侧开合，在压板内设置容腔，在容腔内盛满相变冷却材料。

进一步地，在所述压板上设置弹性接触件，弹性接触件设置在靠近压板的边缘。

进一步地，所述弹性接触件为压缩弹簧。

进一步地，在所述压板上还设置磁吸块，磁吸块可与车体吸附在一起。

进一步地，在所述车体底部设置滚轮。

进一步地，所述车体为平板，压板也为平板。