[实用新型]一种单晶炉掺杂装置及单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，其包括连接部和预制料盒，所述连接部与所述预制料盒活动卡接且卡接后的所述连接部与所述预制料盒的总体高度小于单晶炉副室内腔的高度，其中：

所述连接部包括竖杆，所述竖杆底端一体成型有卡块；

所述预制料盒为硅材质，所述预制料盒的顶壁上开设有进料口，所述预制料盒的侧壁上开设有供所述卡块插入的卡块插口，所述卡块插口的形状与所述卡块竖截面的形状相匹配，所述卡块可活动封闭所述预制料盒。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，所述卡块插口的顶部与所述预制料盒顶壁的下表面平齐。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，所述连接部为L形。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，所述预制料盒设置有一个所述卡块插口，所述卡块插入所述卡块插口后可封闭所述进料口。

5.根据权利要求3所述的一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，所述预制料盒设置有两个所述卡块插口，两个所述卡块插口对称设置于所述预制料盒相对的两个侧壁上，所述卡块可同时插入两个所述卡块插口，所述卡块插入两个所述卡块插口后可封闭所述进料口。

6.根据权利要求2所述的一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，所述连接部为倒T形。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，所述预制料盒设置有一个所述卡块插口，所述进料口与所述卡块插口连通且所述进料口的宽度大于所述竖杆的宽度，小于所述卡块上表面的宽度，所述卡块插入所述卡块插口的同时所述竖杆也插入所述进料口，所述卡块插入所述卡块插口后可封闭所述进料口。

8.根据权利要求6所述的一种单晶炉掺杂装置，其特征在于，所述预制料盒设置有两个所述卡块插口，两个所述卡块插口对称设置于所述预制料盒相对的两个侧壁上，所述进料口同时与两个所述卡块插口连通且所述进料口的宽度大于所述竖杆的宽度，小于所述卡块上表面的宽度，所述卡块插入所述卡块插口的同时所述竖杆也插入所述进料口，所述卡块可同时插入两个所述卡块插口且所述卡块插入两个所述卡块插口后可封闭所述进料口。

9.一种单晶炉，其特征在于，其包括有权利要求1-8中任一所述的一种单晶炉掺杂装置。

10.根据权利要求9所述的一种单晶炉，其特征在于，其还包括单晶炉主室和单晶炉副室，所述单晶炉副室通过隔离阀固定在所述单晶炉主室的顶部，所述单晶炉副室设置有第一进气口和第一出气口，所述单晶炉主室设置有第二进气口和第二出气口，所述单晶炉主室内设置有石英坩埚，所述石英坩埚外侧设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚外侧设置有加热器，所述加热器通过加热电极固定在所述单晶炉主室底部，所述加热器外侧设置有保温筒，所述石墨坩埚的底部设置有坩埚旋转顶升机构；所述单晶炉副室的内腔顶部设置有籽晶旋转提升机构，所述籽晶旋转提升机构的底部连接有软轴，所述软轴的底部活动连接有籽晶夹持装置，所述籽晶夹持装置位于所述石英坩埚的上方，所述单晶炉掺杂装置的所述竖杆的顶部与所述软轴的底部活动连接。