[实用新型]一种控制装置和微波等离子器

说明书

本实用新型提出一种控制装置和微波等离子器，涉及控制技术领域。该控制装置应用于微波等离子器，控制装置包括主控制器和多个从控制器，主控器与多个从控制器均电连接，主控制器和多个从控制器分别与不同的受控装置电连接；主控制器接收并处理受控装置发送的第一输入信号；主控制器向受控装置发送第一控制信号；从控制器接收受控装置发送的第二输入信号，并将第二输入信号发送至主控制器；主控制器依据第二输入信号，向从控制器发送第二控制信号；从控制器将第二控制信号发送至对应的受控装置；从控制器接收主控制器发送的第三控制信号，并将第三控制信号发送至受控装置。其具有稳定性高、长时间运行安全可靠性高以及使用方便等优点。

技术领域

本实用新型涉及控制技术领域，具体而言，涉及一种控制装置和微波等离子器。

背景技术

目前的微波等离子器，一般采用多个独立的控制器分别控制不同的器件。采用该种控制方式的微波等离子器具有稳定性低、长时间运行安全可靠性低以及使用不方便等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种控制装置和微波等离子器，其具有稳定性高、长时间运行安全可靠性高以及使用方便等优点。

为了实现上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种控制装置，应用于微波等离子器，所述控制装置包括：主控制器和多个从控制器，所述主控器与所述多个从控制器均电连接，所述主控制器和所述多个从控制器分别与不同的受控装置电连接；

所述主控制器用于接收并处理所述受控装置发送的第一输入信号；

所述主控制器还用于向所述受控装置发送第一控制信号；

所述从控制器用于接收所述受控装置发送的第二输入信号，并将所述第二输入信号发送至所述主控制器；

所述主控制器还用于依据所述第二输入信号，向所述从控制器发送第二控制信号；

所述从控制器还用于将所述第二控制信号发送至对应的受控装置；

所述从控制器还用于接收所述主控制器发送的第三控制信号，并将所述第三控制信号发送至所述受控装置。

进一步地，所述主控制器为可编程逻辑控制器，所述从控制器为I/O口扩展芯片。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种微波等离子器，包括受控装置和第一方面所述的控制装置。

进一步地，所述受控装置包括伺服控制单元，所述伺服控制单元与所述主控制器电连接；

所述微波等离子器还包括工作腔腔盖，所述伺服控制单元与所述工作腔腔盖连接；

所述伺服控制单元用于依据所述第一控制信号，控制所述工作腔腔盖旋转和升降。

进一步地，所述伺服控制单元包括升降伺服子单元、旋转伺服子单元、升降驱动子单元和旋转驱动子单元，所述主控制器与所述升降伺服子单元和所述旋转伺服子单元均电连接，所述升降伺服子单元与所述升降驱动子单元电连接，所述旋转伺服子单元与所述旋转驱动子单元电连接，所述升降驱动子单元和所述旋转驱动子单元均与所述工作腔腔盖连接；

所述第一控制信号包括升降启动信号和旋转启动信号；

所述升降伺服子单元用于依据所述升降启动信号，驱动所述升降驱动子单元驱使所述工作腔腔盖升降；

所述旋转伺服子单元用于依据所述旋转启动信号，驱动所述旋转驱动子单元驱使所述工作腔腔盖旋转。

进一步地，所述受控装置还包括真空度检测单元，所述微波等离子器还包括网线端子，所述真空度检测单元通过所述网线端子与所述从控制器电连接；

所述第二输入信号包括真空度信号；