[实用新型]一种控制装置和微波等离子器

权利要求书

1.一种控制装置，其特征在于，应用于微波等离子器，所述控制装置包括：主控制器和多个从控制器，所述主控制器与所述多个从控制器均电连接，所述主控制器和所述多个从控制器分别与不同的受控装置电连接；

所述主控制器用于接收并处理所述受控装置发送的第一输入信号；

所述主控制器还用于向所述受控装置发送第一控制信号；

所述从控制器用于接收所述受控装置发送的第二输入信号，并将所述第二输入信号发送至所述主控制器；

所述主控制器还用于依据所述第二输入信号，向所述从控制器发送第二控制信号；

所述从控制器还用于将所述第二控制信号发送至对应的受控装置；

所述从控制器还用于接收所述主控制器发送的第三控制信号，并将所述第三控制信号发送至对应的所述受控装置。

2.如权利要求1所述的控制装置，其特征在于，所述主控制器为可编程逻辑控制器，所述从控制器为I/O口扩展芯片。

3.一种微波等离子器，其特征在于，包括受控装置和如权利要求1-2任意一项所述的控制装置。

4.如权利要求3所述的微波等离子器，其特征在于，所述受控装置包括伺服控制单元，所述伺服控制单元与所述主控制器电连接；

所述微波等离子器还包括工作腔腔盖，所述伺服控制单元与所述工作腔腔盖连接；

所述伺服控制单元用于依据所述第一控制信号，控制所述工作腔腔盖旋转和升降。

5.如权利要求4所述的微波等离子器，其特征在于，所述伺服控制单元包括升降伺服子单元、旋转伺服子单元、升降驱动子单元和旋转驱动子单元，所述主控制器与所述升降伺服子单元和所述旋转伺服子单元均电连接，所述升降伺服子单元与所述升降驱动子单元电连接，所述旋转伺服子单元与所述旋转驱动子单元电连接，所述升降驱动子单元和所述旋转驱动子单元均与所述工作腔腔盖连接；

所述第一控制信号包括升降启动信号和旋转启动信号；

所述升降伺服子单元用于依据所述升降启动信号，驱动所述升降驱动子单元驱使所述工作腔腔盖升降；

所述旋转伺服子单元用于依据所述旋转启动信号，驱动所述旋转驱动子单元驱使所述工作腔腔盖旋转。

6.如权利要求3所述的微波等离子器，其特征在于，所述受控装置还包括真空度检测单元，所述微波等离子器还包括网线端子，所述真空度检测单元通过所述网线端子与所述从控制器电连接；

所述第二输入信号包括真空度信号；

所述真空度检测单元用于通过所述网线端子，将所述真空度信号传输至所述从控制器；

所述从控制器用于将所述真空度信号发送至所述控制器。

7.如权利要求3所述的微波等离子器，其特征在于，所述受控装置还包括温度检测单元，所述温度检测单元与所述从控制器电连接；

所述第二输入信号包括温度信号；

所述从控制器用于接收所述温度检测单元发送的温度信号，并将所述温度信号发送至所述主控制器。

8.如权利要求3所述的微波等离子器，其特征在于，所述受控装置包括水流量计，所述水流量计与所述从控制器电连接；

所述第二输入信号包括水流量信号；

所述从控制器用于接收所述水流量计发送的水流量信号，并将所述水流量信号发送至所述主控制器。

9.如权利要求3所述的微波等离子器，其特征在于，所述受控装置还包括开关单元，所述开关单元与所述从控制器电连接；

所述开关单元用于依据所述第二控制信号或所述第三控制信号，处于导通状态或关断状态。

10.如权利要求3所述的微波等离子器，其特征在于，所述受控装置包括压强测量单元，所述压强测量单元与所述从控制器电连接；

所述第二输入信号包括压强信号；

所述从控制器用于接收所述压强测量单元发送的压强信号，并将所述压强信号发送至所述主控制器。