[实用新型]一种光刻机反应腔的内衬

权利要求书

1.一种光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述光刻机反应腔的内衬包括层叠设置的圆筒状本体与圆环状底座；

所述圆筒状本体的侧壁设置有晶圆片传送口；

所述圆环状底座的侧壁围绕圆周设置有至少1排贯通孔。

2.根据权利要求1所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述圆筒状本体远离圆环状底座的顶面设置有至少3个定位销孔。

3.根据权利要求1所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述晶圆片传送口为长条状镂空。

4.根据权利要求3所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述长条状镂空的窄边长度为圆筒状本体高度的1/3-1/2；

所述长条状镂空的宽边长度为圆筒状本体周长的1/3-1/2。

5.根据权利要求3所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述长条状镂空的窄边侧壁与圆筒状本体的内壁相切。

6.根据权利要求1所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述贯通孔为圆形槽孔。

7.根据权利要求6所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述圆形槽孔的孔径为4-6mm。

8.根据权利要求1所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述圆筒状本体的内径为300-350mm；

所述圆筒状本体的内径与圆环状底座的内径相等。

9.根据权利要求1所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述圆筒状本体的外径为350-400mm；

所述圆筒状本体的外径小于圆环状底座的外径8-10mm。

10.根据权利要求1所述的光刻机反应腔的内衬，其特征在于，所述圆筒状本体的高度为100-120mm；

所述圆环状底座的高度为15-25mm。