[实用新型]一种坩埚及蒸镀装置

权利要求书

1.一种坩埚，其特征在于，包括：

坩埚本体，所述坩埚本体具有容纳空间，所述坩埚本体的顶部具有连通所述容纳空间的开口，所述坩埚本体的底部的至少一部分向所述开口方向延伸以形成导热柱，所述导热柱内部设有贯通所述坩埚本体的底部的加热孔；

坩埚盖，所述坩埚盖与所述开口盖合设置，所述坩埚盖上开设有连通所述开口的通气孔，且所述通气孔设在所述导热柱的上方。

2.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚盖的顶面具有围绕所述通气孔且朝远离所述导热柱延伸设置的导向管。

3.如权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述通气孔的孔径小于所述导热柱的外径；和/或所述导热柱的顶面与所述通气孔之间设置有流通间距。

4.如权利要求2或3任一项所述的坩埚，其特征在于，所述导热柱的中心轴与所述坩埚本体的中心轴同轴设置；

所述导热柱的中心轴与所述加热孔的中心轴同轴设置；

所述导热柱的中心轴与所述通气孔的中心轴同轴设置。

5.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚盖与所述坩埚本体螺纹连接，所述坩埚盖包括相连的盖面和螺纹连接部，所述螺纹连接部内壁设有内限位台阶，所述内限位台阶的大端朝向所述坩埚本体的一侧设置有与坩埚本体配合连接的内螺纹。

6.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至5任一所述的坩埚；

第一加热源和第二加热源，所述第一加热源设置在所述坩埚本体的外壁，所述第二加热源设置在所述加热孔中。

7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：

加热器，所述加热器包括与所述坩埚本体相匹配的加热杯，所述加热杯内设有与所述加热孔相配合的立柱，所述坩埚本体置于所述加热杯内，所述第一加热源设在所述加热杯的内壁与所述坩埚本体的外壁之间，所述第二加热源设在所述立柱与所述加热孔的内壁之间。

8.如权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热杯的杯壁内设有中空的第一冷却通道，所述立柱内设有与所述第一冷却通道连通的第二冷却通道。

9.如权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一加热源和所述第二加热源分别独立地为电热丝。