[实用新型]太阳能电池硅片磷源浓度提高扩散装置

说明书

本实用新型公开了太阳能电池硅片磷源浓度提高扩散装置，属于太阳能电池片生产设备技术领域，太阳能电池硅片磷源浓度提高扩散装置，包括扩散炉管，扩散炉管的内部上侧设有沿扩散炉管长度方向设置的扩散喷淋管，扩散喷淋管的底端开设有多个沿其长度方向设置的喷淋孔，且多个喷淋孔等间距设置，扩散炉管的内部位于扩散喷淋管的下侧设有多个沿其长度方向排布的第一扩散机构和第二扩散机构，第一扩散机构和第二扩散机构交错设置，且第一扩散机构和第二扩散机构相贴合设置，可以实现利用特殊形状的扩散结构加速气流的扩散，能保证气流的均匀分布，保证了太阳能电池硅片的扩散均匀性，大大的提升了太阳能电池硅片的扩散效果和效率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产设备技术领域，更具体地说，涉及太阳能电池硅片磷源浓度提高扩散装置。

背景技术

太阳能电池是一种直接将太阳能转换为电能的器件，其主要利用PN结的光生伏特效应将太阳能转化为电能。因为太阳能电池具有清洁、无污染、资源丰富等特点，太阳能发电已经成为一种重要的发电形式。随着工艺技术的进步，太阳能电池片的工作效率一直在不断提高。随着常规能源的逐步枯竭和对能源需求的日益剧增，人类面临着越来越严重的能源危机，而发展太阳能电池是解决上述问题的途径之一。在晶体硅太阳能电池的生产过程中，扩散设备是扩散工序制备PN结的重要设备，其主要作用是作为硅片扩散工序的反应腔。

在晶体硅太阳能电池制造过程中，硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体，在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结。具体地说，先将硅片插在石英舟上，然后将石英舟放入高温扩散炉(一般就是扩散石英管)中，通入含有扩散源的气体，在高温条件下扩散源与硅片发生反应，实现扩散过程从而形成PN结。

现有的扩散炉反应腔包括圆柱形扩散炉管，扩散炉管底部圆形端面安装有用于向扩散炉管内通入氮气、氧气、磷源的进气管，用于监控扩散炉管内温度的热电偶管、用于排出扩散炉管内废气的排气管，进气管位于圆形端面的中心位置，热电偶管和排气管均位于圆形端面的底端位置，现有的扩散炉管在扩散时不能实现气流的均匀分布，影响扩散的均匀性，同时在扩散时都是靠高温下气流自行扩散，没有外界因素对扩散进行促进，扩散效率不佳。

实用新型内容

1．要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供太阳能电池硅片磷源浓度提高扩散装置，可以实现利用特殊形状的扩散结构加速气流的扩散，同时能保证气流的均匀分布，保证了太阳能电池硅片的扩散均匀性，大大的提升了太阳能电池硅片的扩散效果和效率。

2．技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。