[发明专利]工件载具的传送装置

说明书

本发明公开了工件载具的传送装置，包括：外框，所述外框的内部围拢形成工作空间；内框，位于所述工作空间内；传送轮组件，设置在所述内框中用以传送工件载具；升降驱动组件，安装于所述外框、且作用至所述内框的底部；第一导向机构，作用于所述外框和所述内框之间引导所述内框的升降。所述传送装置能够实现对工件载具的精准移动，提高工件加工效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，特别是涉及一种工件载具的传送装置。

背景技术

在真空镀膜过程中，往往需对固定于载具上的工件进行移动，包括水平方向和竖直方向的移动，使工件进入指定加工位置。目前，主要通过传送装置对工件载具进行移动，但大多数传送装置的传动稳定性较差，很难精准控制工件的移动以及加工位置的及时定位。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供了一种能够实现工件载具精准移动的传送装置。

本发明中，所述工件载具的传送装置包括：

外框，所述外框的内部围拢形成工作空间；

内框，位于所述工作空间内；

传送轮组件，设置在所述内框中用以传送工件载具；

升降驱动组件，安装于所述外框、且作用至所述内框的底部；

第一导向机构，作用于所述外框和所述内框之间、以引导所述内框的升降。

以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。

可选的，所述外框水平方向的一侧具有供工件载具传输的进出口。

可选的，所述内框的顶部设有与工件载具顶部相配合的第二导向机构。

可选的，所述第一导向机构包括：

导靴，固定于所述外框；

导轨，固定于所述内框、且与所述导靴相配合。

可选的，所述内框包括相对布置的底盘和顶壁，以及连接在所述底盘和顶壁之间的多根立柱，所述导轨固定于各所述立柱。

可选的，所述升降驱动组件包括：

第一驱动电机，安装于所述外框且处在所述内框的下方；

传动丝杆，立置安装于所述外框且与所述驱动电机联动，所述传动丝杆向上延伸穿过所述内框的底盘；

固定于所述底盘、且与所述传动丝杆相配合的螺母件。

可选的，所述传动丝杆为并排布置的两根，两根传动丝杆的顶端之间通过加强横杆相连。

可选的，所述第一驱动电机的输出轴分别与两根平置的传动轴联动，每根传动轴与对应的传动丝杆底端联动。

可选的，所述传送轮组件包括：

第二驱动电机，安装于所述内框；

两排传送轮，转动安装于所述内框；

同步件，传动连接于所述第二驱动电机和各传送轮之间。

可选的，所述传动丝杆穿过所述底盘的位置处在所述两排传送轮之间。

相比于现有技术，本发明工件载具的传送装置一方面通过传送轮组件保证工件载具沿水平移动的稳定性，另一方面利用升降驱动组件驱使内框在外框内发生竖直方向上的升降运动；该传送装置结构简单，能够精准控制工件载具的移动路径和速度。

附图说明