[发明专利]一种高纯锑棒的制备方法有效
申请号: | 202111609765.1 | 申请日: | 2021-12-27 |
公开(公告)号: | CN114250371B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 乐卫华;白平平;何志达;谢小林;朱刘 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | C22B30/02 | 分类号: | C22B30/02;C22B9/04;C22B9/02 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 朱伟雄 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 制备 方法 | ||
本发明提供一种高纯锑棒的制备方法,包括:S1、准备石英管和玻璃管,并进行洁净处理;对石英管进行镀碳处理;S2、将锑粒装入石英管中,再将装好料的石英管放入玻璃管内,进行真空封管;S3、将封管后的玻璃管竖直放入竖式加热炉中进行熔料,冷却后取出;S4、将玻璃管竖直放入竖式区域熔炼炉中进行区域熔炼,熔炼结束后停止加热,冷却后取出;S5、将所得锑棒取出进行后处理,即得。该制备方法工艺简单、容易操作,且生产成本低,且能稳定地制备出外观美观、内部无空腔、外表面无缩孔、气孔和其他缺陷的高纯锑棒,且制备的锑棒容易脱模。
技术领域
本发明属于高纯金属材料领域,具体涉及一种高纯锑棒的制备方法。
背景技术
锑(Antimony),化学式Sb,银白色有光泽硬而脆的金属,有鳞片状晶体结构,在潮湿空气中逐渐失去光泽,强热则燃烧成白色锑的氧化物,相对密度为6.68g/cm3,熔点为630℃。超高纯7N以上锑主要用分子束外延生长技术(MBE),而该技术往往需要棒状的超高纯锑作为原料。
目前高纯锑棒的主要制备方法是石墨模具浇铸法。该方法的缺点是:(1)在空气中熔化,锑表面会产生氧化物;(2)凝固速度快,锑棒内存在空腔,表面较多缩孔;(3)使用的石墨模具要专门定制,价格昂贵。
现有技术也有将物料放入清洁过的石英管中,抽真空竖式进行熔炼,这种方法制备的锑棒Si含量较高,且制备过程中容易造成物料损失,获得的锑棒表面和顶端存在缩孔,清洗腐蚀时还有残留,影响产品质量,且制备的锑棒纯度受限,不能满足高纯度锑棒(6N以上)的要求。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种能制备出表面光亮无缩孔、内无空腔、氧含量低于1ppm的超高纯锑棒的方法,能够制得满足MBE使用需要的7N超高纯锑棒,填补了国内空白。
为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种高纯锑棒的制备方法,包括:
S1、准备石英管和玻璃管,并进行洁净处理;对石英管进行镀碳处理;
S2、将锑粒装入石英管中,再将装好料的石英管放入玻璃管内,进行真空封管;
S3、将封管后的玻璃管竖直放入竖式加热炉中进行熔料,冷却后取出;
S4、将玻璃管竖直放入竖式区域熔炼炉中进行区域熔炼,熔炼结束后停止加热,冷却后取出;
S5、将所得锑棒取出进行后处理,即得。
作为优选,步骤S4中,所述区域熔炼设定加热温度为650~720℃,加热器移动速度为10~40mm/h,让加热器匀速经过锑棒,完成归位后重复2~3次。
作为优选,步骤S5中,所述后处理包括:先将锑棒采用腐蚀液A进行清洗,再采用腐蚀液B进行清洗,最后采用水进行清洗,烘干、包装后得到产品;所述腐蚀液A为浓硝酸与氢氟酸的混合溶液,所述腐蚀液B为氢氟酸与水的混合溶液。作为进一步优选,烘干采用真空烘干。
作为优选,所述腐蚀液A中,浓硝酸与氢氟酸的体积比为1~5:1;所述腐蚀液A清洗的时间为1~4分钟。
作为优选,所述腐蚀液B中,水与氢氟酸的体积比为60~100:1;所述腐蚀液B清洗的时间为1~5分钟。
作为优选,所述采用水清洗直至清洗后的水的电导率低于0.8μS/cm。作为进一步优选,所述清洗包括:用流动的纯水冲洗2~5分钟,然后放入pp槽中,加入纯水至没过锑棒1cm以上,进行超声5~10分钟,重复上述步骤,直至超声后纯水的电导率小于0.8μS/cm。
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