[发明专利]栅线电极制备方法及太阳能电池有效
| 申请号: | 202111604101.6 | 申请日: | 2021-12-24 |
| 公开(公告)号: | CN114284396B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | 苏晓东;曾玉莲;邹帅 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
| 主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;H01L31/0224;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/32 |
| 代理公司: | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人: | 李若可 |
| 地址: | 215000*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电极 制备 方法 太阳能电池 | ||
1.一种栅线电极制备方法,其特征在于,所述方法包括:
S1、在电池前驱体上涂覆正性UV油墨层;
S2、对正性UV油墨层进行加热固化;
S3、按照预定栅线图案对正性UV油墨层进行激光曝光,激光波长为250~600nm,激光频率为100~3000Hz,激光功率为0.1~10W,激光扫描速度为50~3000mm/s,激光曝光通过激光器进行,激光器为纳秒脉冲激光器、皮秒脉冲激光器或飞秒脉冲激光器;
S4、通过第一碱溶液对激光曝光后的正性UV油墨层进行显影,形成贯穿正性UV油墨层的栅线开口;
S5、在栅线开口处形成栅线电极;
S6、通过第二碱溶液去除正性UV油墨层。
2.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S1前还包括:
在电池前驱体上形成金属导电种子层,所述金属导电种子层的材料为铜、镍、锡、银、铝、铂、铟、钨、钛中的一种或多种,厚度为10~1000nm,优选为50~200nm;
所述步骤S6后还包括:
通过去种子层溶液去除栅线电极下方区域以外的金属导电种子层,保留栅线电极下方区域的金属导电种子层,所述去种子层溶液为氢氧化钠溶液、氨水、氨水/过氧化氢溶液、过硫酸铵溶液、三氯化铁溶液、磷酸水溶液、磷酸/硝酸溶液中的一种或多种,金属导电种子层与去种子层溶液的反应时间为10~1000s,优选为25~250s。
3.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S1中:
正性UV油墨层的厚度为1~50μm,优选为12~25μm或5~25μm;和/或
正性UV油墨层的涂覆工艺为旋涂工艺、丝网印刷工艺或喷涂工艺,优选为喷涂工艺。
4.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S2中:
加热固化的温度为50~150℃,优选为75~120℃;
加热固化的时间为1~20min,优选为8~15min。
5.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S3中:
激光波长为300~400nm或350~450nm;和/或,
激光频率为1000~2000Hz,激光功率为0.5~2W,激光扫描速度为300~1000mm/s或500~1500mm/s;和/或,
激光曝光通过激光器进行,激光器为皮秒脉冲激光器。
6.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S4中:
第一碱溶液为质量分数0.5%-2%的氢氧化钠溶液、质量分数0.4%-1.5%的氢氧化钾溶液、质量分数0.5%-3%的碳酸钠溶液或质量分数0.8%-3%的碳酸氢钠溶液,优选为质量分数0.8%-1.2%的氢氧化钠溶液或质量分数0.6%-1%的氢氧化钾溶液;和/或,
显影时间为1~100s,优选为5~50s;和/或,
所述栅线开口的宽度为15~40μm,优选为15~30μm。
7.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S6中:
第二碱溶液为质量分数3%-7%的氢氧化钠溶液、质量分数2%-6%的氢氧化钾溶液、质量分数3%-7%的碳酸钠溶液或质量分数3%-7%的碳酸氢钠溶液,优选为质量分数4%-6%的氢氧化钠溶液或质量分数3.4%-5.6%的氢氧化钾溶液;和/或,
正性UV油墨层与第二碱溶液的反应时间为1~100s,优选为5~50s。
8.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S5中的栅线电极通过电镀工艺形成;和/或,
所述栅线电极的线宽为15~40μm,优选为15~30μm。
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