[发明专利]栅线电极制备方法及太阳能电池有效

专利信息
申请号: 202111604101.6 申请日: 2021-12-24
公开(公告)号: CN114284396B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 苏晓东;曾玉莲;邹帅 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: H01L31/20 分类号: H01L31/20;H01L31/0224;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/32
代理公司: 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 代理人: 李若可
地址: 215000*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 电极 制备 方法 太阳能电池
【权利要求书】:

1.一种栅线电极制备方法,其特征在于,所述方法包括:

S1、在电池前驱体上涂覆正性UV油墨层;

S2、对正性UV油墨层进行加热固化;

S3、按照预定栅线图案对正性UV油墨层进行激光曝光,激光波长为250~600nm,激光频率为100~3000Hz,激光功率为0.1~10W,激光扫描速度为50~3000mm/s,激光曝光通过激光器进行,激光器为纳秒脉冲激光器、皮秒脉冲激光器或飞秒脉冲激光器;

S4、通过第一碱溶液对激光曝光后的正性UV油墨层进行显影,形成贯穿正性UV油墨层的栅线开口;

S5、在栅线开口处形成栅线电极;

S6、通过第二碱溶液去除正性UV油墨层。

2.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S1前还包括:

在电池前驱体上形成金属导电种子层,所述金属导电种子层的材料为铜、镍、锡、银、铝、铂、铟、钨、钛中的一种或多种,厚度为10~1000nm,优选为50~200nm;

所述步骤S6后还包括:

通过去种子层溶液去除栅线电极下方区域以外的金属导电种子层,保留栅线电极下方区域的金属导电种子层,所述去种子层溶液为氢氧化钠溶液、氨水、氨水/过氧化氢溶液、过硫酸铵溶液、三氯化铁溶液、磷酸水溶液、磷酸/硝酸溶液中的一种或多种,金属导电种子层与去种子层溶液的反应时间为10~1000s,优选为25~250s。

3.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S1中:

正性UV油墨层的厚度为1~50μm,优选为12~25μm或5~25μm;和/或

正性UV油墨层的涂覆工艺为旋涂工艺、丝网印刷工艺或喷涂工艺,优选为喷涂工艺。

4.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S2中:

加热固化的温度为50~150℃,优选为75~120℃;

加热固化的时间为1~20min,优选为8~15min。

5.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S3中:

激光波长为300~400nm或350~450nm;和/或,

激光频率为1000~2000Hz,激光功率为0.5~2W,激光扫描速度为300~1000mm/s或500~1500mm/s;和/或,

激光曝光通过激光器进行,激光器为皮秒脉冲激光器。

6.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S4中:

第一碱溶液为质量分数0.5%-2%的氢氧化钠溶液、质量分数0.4%-1.5%的氢氧化钾溶液、质量分数0.5%-3%的碳酸钠溶液或质量分数0.8%-3%的碳酸氢钠溶液,优选为质量分数0.8%-1.2%的氢氧化钠溶液或质量分数0.6%-1%的氢氧化钾溶液;和/或,

显影时间为1~100s,优选为5~50s;和/或,

所述栅线开口的宽度为15~40μm,优选为15~30μm。

7.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S6中:

第二碱溶液为质量分数3%-7%的氢氧化钠溶液、质量分数2%-6%的氢氧化钾溶液、质量分数3%-7%的碳酸钠溶液或质量分数3%-7%的碳酸氢钠溶液,优选为质量分数4%-6%的氢氧化钠溶液或质量分数3.4%-5.6%的氢氧化钾溶液;和/或,

正性UV油墨层与第二碱溶液的反应时间为1~100s,优选为5~50s。

8.根据权利要求1所述的栅线电极制备方法,其特征在于,所述步骤S5中的栅线电极通过电镀工艺形成;和/或,

所述栅线电极的线宽为15~40μm,优选为15~30μm。

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