[发明专利]读数头检修方法、框架标定工装及读数头标定工装

说明书

本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种读数头检修方法、框架标定工装及读数头标定工装。读数头检修方法包括：获取各个读数头的第一参数，根据第一参数，判断读数头是否损坏；若判断结果为否，则获取读数头的第二参数，若第二参数不满足要求，则判断为读数头异常，对读数头进行调试，直到第二参数达到预定值以上；若判断结果为是，则更换读数头并将更换后的读数头的第二参数调试到预定值以上。框架标定工装及读数头标定工装用于实施上述读数头检修方法。本发明提供的读数头检修方法、框架标定工装及读数头标定工装，可在现场快速确定读数头发生故障的原因，无需返厂检测，从而，可缩短维护维修周期，成本较低。

技术领域

本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种读数头检修方法、框架标定工装及读数头标定工装。

背景技术

工件台的位移主要是依靠工件台平面光栅测量系统来测量的，因此，工件台平面光栅位置测量系统的测量精度直接会影响到工件台定位精度，而读数头是工件台平面光栅位置测量系统的主要部件，其是否正常运行，直接影响着测量精度。

然而，一旦读数头发生故障，现场无法确定故障原因，需要返厂检测，导致维护维修周期长，成本高。

综上，如何克服现有的读数头检修方法的上述缺陷是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种读数头检修方法、框架标定工装及读数头标定工装，以缓解现有技术中的读数头检修方法存在的无法在现场确定读数头故障原因的技术问题。

本发明提供的读数头检修方法，包括：

获取读数头的第一参数，根据所述第一参数，判断读数头是否损坏；

若判断结果为否，则获取读数头的第二参数，若所述第二参数在读数头工作转角范围内小于第一阈值，或所述第二参数在读数头转动到极限位置时小于第二阈值，则均判断为读数头异常，对读数头进行调试，直到所述第二参数达到预定值以上，所述第一阈值大于所述第二阈值；否则，判断为读数头正常；

若判断结果为是，则更换读数头并对更换后的读数头进行调试，直到所述第二参数达到预定值以上。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

本发明提供的读数头检修方法，可通过获取到的各个读数头的第一参数，判断读数头是否损坏，当判断结果为否时，读数头未发生损坏，无需更换；当判断结果为是时，读数头损坏，需要更换，并对更换后的读数头进行调试，以使得读数头的第二参数达到预定值以上，保证良好的精度。

在上述判断结果的基础上，若读数头无需更换，进一步获取读数头的第二参数，判断读数头是否正常，若在读数头工作转角范围(即读数头正常读数时会出现的转角范围，一般在-1mrad与+1mrad之间)内，读数头的第二参数小于第一阈值，则判断为读数头异常；若在读数头转动到极限位置(即读数头所能到达的极限位置)时，读数头的第二参数小于第二阈值，同样判断为读数头异常，不管是哪个结果异常，均直接调试读数头，直到读数头的第二参数达到预定值以上，保证良好的精度。其中，第一阈值大于第二阈值，即在读数头工作转角范围内，平面光栅位置测量系统对读数头中的第二参数要求较高。若在读数头工作转角范围内，读数头的第二参数不小于第一阈值，且在读数头转动到极限位置时，读数头的第二参数不小于第二阈值，则判断为读数头正常，无需维修处理。

因此，本发明提供的读数头检修方法，可在现场快速确定读数头发生故障的原因，无需返厂检测，从而，可缩短维护维修周期，成本较低。

优选地，作为一种可实施方式，所述对读数头进行调试，直到所述第二参数达到预定值以上的步骤包括：

将工件台从整机框架转移至框架标定工装处，利用框架标定工装上的第一平面光栅为读数头的信号提供参考基准；

调试读数头，直到所述第二参数达到预定值以上；