[发明专利]基板加工装置以及基板加工方法

说明书

公开了一种基板加工装置，可以包括：多个基板传送部，布置在基板的沿第一方向延伸的两侧的下方并沿第一方向延伸，并且沿与第一方向交叉的第二方向彼此隔开；托盘，在多个基板传送部之间布置在基板的下方；以及多个止动件，布置在多个基板传送部的沿第二方向彼此面对的内侧表面上并沿第一方向排列，并且固定托盘的高度。

技术领域

本发明涉及一种基板加工装置以及基板加工方法。

背景技术

一般而言，向用户提供图像的智能电话、数码相机、笔记本计算机、导航仪和智能电视等的电子装置包括用于显示图像的显示装置。显示装置生成图像，并将生成的图像提供给用户。

显示装置包括生成图像的显示面板和向用户提供各种功能的功能元件。功能元件包括扬声器、相机、传感器和功能按钮等。多个插入孔限定在显示面板中，并且功能元件插入到插入孔中以连接到显示面板。为了在显示面板上形成插入孔而使用激光。通过激光切割显示面板的一部分来形成插入孔。在用于形成插入孔的激光切割工艺中产生颗粒。

发明内容

解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种即使发生腔室的变形也保持托盘与基板之间的间隔的基板加工装置。

解决方法

根据本发明实施例的基板加工装置可以包括：激光生成部，用于向限定在基板上的孔区域照射激光束；多个基板传送部，布置在基板的沿第一方向延伸的两侧的下方并沿第一方向延伸，并且沿与第一方向交叉的第二方向彼此隔开；托盘，在多个基板传送部之间布置在基板的下方；多个止动件，布置在多个基板传送部的沿第二方向彼此面对的内侧表面上并沿第一方向排列，并且固定托盘的高度；以及多个弹性部，布置在托盘的下方。

基板加工装置还可以包括：多个辊，布置在多个止动件的面对托盘的一个侧表面上。

基板加工装置还可以包括：多个突出部，布置在托盘的面对多个基板传送部的两个侧表面上，其中，多个辊可以布置在多个突出部上。

多个突出部的上表面的两个末端可以在与第一方向和第二方向交叉的第三方向上包括曲面。

托盘的面对多个基板传送部的两个侧表面上可以限定有凹陷部，以及多个辊可以布置在凹陷部中。

凹陷部的下表面的两个末端可以在与第一方向和第二方向交叉的第三方向上包括曲面。

基板与托盘之间的间隔可以由多个止动件保持。

基板与托盘之间的间隔可以保持为2mm至10mm。

多个弹性部可以沿第二方向彼此隔开，并且可以与托盘的侧表面相邻。

多个弹性部中的每一个可以包括：第一连接部；第二连接部，布置在第一连接部的一个侧表面上；支承件，连接到第二连接部，并沿与第一方向和第二方向垂直的第三方向延伸；以及弹性体，插入有支承件，并且布置在托盘的下方，其中，针对第三方向弹性体的长度可以大于支承件的长度。

基板加工装置还可以包括：多个托盘传送部，布置在多个弹性部的第一连接部的下方，沿第一方向延伸，并且沿第二方向彼此面对。

基板与托盘之间的间隔可以由多个弹性部的弹性体保持。

弹性体的刚性可以设定为100kg重至400kg重。

沿第一方向彼此相邻的两个止动件之间的第一间隔可以小于托盘在第一方向上的第一长度。

第一间隔可以小于或等于第一长度的80％。

基板加工装置还可以包括：腔室，腔室的内部布置有基板、多个基板传送部、多个止动件和托盘；端口，布置在腔室的上表面上并将从腔室的外部照射的激光束透射到腔室的内部；以及多个支承杆，布置在多个基板传送部的下方并贯穿腔室的下表面，并且向下方延伸。