[发明专利]用于太阳能电池的多晶硅片湿法制绒方法有效

专利信息
申请号: 202111576928.0 申请日: 2021-12-22
公开(公告)号: CN114267751B 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 王晶;王路路;王菲;王强;张晋阳;聂文君 申请(专利权)人: 晋能清洁能源科技股份公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0236;C30B29/06;C30B33/10
代理公司: 山西晋扬知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14125 代理人: 张学元
地址: 032100 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 用于 太阳能电池 多晶 硅片 湿法 方法
【说明书】:

发明涉及一种用于太阳能电池的多晶硅片湿法制绒方法,属于太阳能电池生产技术领域。包括:配置制绒液,所述制绒液由HF溶液、HNOsubgt;3/subgt;溶液和DI组成,HF溶液、HNOsubgt;3/subgt;溶液和DI的体积比为87:270:160,HF溶液的浓度为17%,HNOsubgt;3/subgt;溶液的浓度为52%;将制绒液加入制绒机的制绒槽中,等待制绒槽的温度降至10℃;向降温后的制绒液中放入多晶硅片,并向制绒槽中加入与HF溶液体积比为3:87的制绒添加剂,使制绒液与多晶硅片反应以在硅片表面形成绒面;在反应过程中,持续向制绒槽中自动补入HF溶液和HNOsubgt;3/subgt;溶液,其中,补入的HF溶液和HNOsubgt;3/subgt;溶液的比例为1.2:1‑1.5:1。本发明能够提高绒面的均匀性。

技术领域

本发明涉及太阳能电池生产技术领域,尤其涉及一种用于太阳能电池的多晶硅片湿法制绒方法。

背景技术

目前,电池片的绒面严重制约着成品电池片的转换效率,多晶硅片的湿法制绒常采用HF、HNO3和纯水的混合溶液对多晶硅片进行腐蚀,以在多晶硅片表面形成蠕虫状结构,达到陷光、吸收光的作用。然而,目前多晶硅的湿法制绒效果未达到最佳,绒面均匀性较差。

发明内容

为解决上述技术问题,本发明提供一种用于太阳能电池的多晶硅片湿法制绒方法。所述的技术方案如下:

一种用于太阳能电池的多晶硅片湿法制绒方法,其包括如下步骤:

S1,配置制绒液,所述制绒液由HF溶液、HNO3溶液和DI组成,HF溶液、HNO3溶液和DI的体积比为87:270:160,HF溶液的浓度为17%,HNO3溶液的浓度为52%;

S2,将制绒液加入制绒机的制绒槽中,等待制绒槽的槽体温度降至10℃;

S3,向降温后的制绒液中放入多晶硅片,并向制绒槽中加入与HF溶液体积比例为3:87的制绒添加剂,使制绒液与多晶硅片反应以在多晶硅片表面形成绒面;

S4,在反应过程中,持续向制绒槽中自动补入HF溶液和HNO3溶液来调整制绒液,其中,补入的HF溶液和HNO3溶液的比例为1.2:1-1.5:1。

可选地,所述S3中制绒液与多晶硅片反应时,控制制绒槽的温度为10℃,制绒机的机台怠速为2.5-2.8m/min。

可选地,所述S3中制绒液与多晶硅片反应时,控制多晶硅片的减重范围为0.22-0.28g,反射率范围为22%-28%。

可选地,所述S3中制绒液与多晶硅片反应时,持续向制绒槽中以0.105ml/pcs-0.090ml/pcs的量自动补入制绒添加剂。

可选地,所述S4中补入的HF溶液和HNO3溶液的比例为1.4:1。

可选地,持续向制绒槽中自动补入制绒添加剂的量为0.095ml/pcs。

借由上述方案,本发明通过提高HF溶液的浓度、降低HNO3溶液的浓度的方式,使制绒反应过程中多晶硅片在酸腐蚀混合液中的纵向腐蚀力度加大,横向腐蚀力度缩小,使得电池片表面形成小而均匀的绒面,多晶硅片绒面整体覆盖率提升,保证了多晶硅片减重及正面反射率状态,从而提升电池片短路电流Isc,达到了电流正增益,提升了转化效率。

上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本发明的流程图。

具体实施方式

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