[发明专利]一种孪晶铜材料及制备方法和用途有效

专利信息
申请号: 202111574709.9 申请日: 2021-12-21
公开(公告)号: CN114086224B 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 刘志权;李哲;张玉博;高丽茵;孙蓉 申请(专利权)人: 中国科学院深圳先进技术研究院
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38;C25D5/50;H05K3/10;H01L23/52
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 潘登
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 孪晶铜 材料 制备 方法 用途
【权利要求书】:

1.一种孪晶铜材料,其特征在于,所述孪晶铜材料具有(110)晶面择优取向,所述孪晶铜材料包括孪晶组织,所述孪晶组织包括孪晶片层,所述孪晶片层主要沿与晶粒生长方向夹角45°分布;具有所述孪晶片层的晶粒在所述孪晶铜材料的晶粒总数中的占比≥50%,和/或所述孪晶组织的体积占所述孪晶铜材料总体积的比值≥50%。

2.根据权利要求1所述的孪晶铜材料,其特征在于,对所述孪晶铜材料进行XRD衍射分析,(220)/(111)衍射峰强度比大于2。

3.根据权利要求1或2所述的孪晶铜材料,其特征在于,所述孪晶铜材料通过对具有(111)晶面择优取向的预电镀铜材料进行热处理得到,所述热处理的温度≥200℃。

4.一种如权利要求1所述的孪晶铜材料的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:

(1)配制镀液

所述镀液包含铜离子、硫酸、氯离子、添加剂和水,所述添加剂包括抑制剂和辅助剂,所述辅助剂选自有机磺酸盐中的至少一种;

(2)直流电镀

将阳极和作为导电基底的阴极浸入镀液中,电镀,得到预电镀铜材料;

(3)对所述的预电镀铜材料进行热处理,所述热处理的温度≥200℃,得到所述的孪晶铜材料;

步骤(1)所述镀液中辅助剂的浓度为10-500ppm;

步骤(1)所述抑制剂为明胶;

步骤(1)所述镀液中抑制剂的浓度为5-200ppm;

步骤(1)中,所述镀液中铜离子的浓度为20-70g/L;

步骤(1)中,所述镀液中硫酸的浓度为20-200g/L;

步骤(1)中,所述镀液中氯离子的浓度为20-80ppm;

步骤(2)中,所述电镀的温度为20-50℃;

步骤(2)中,所述电镀的电流密度为0.5-25A/dm2

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述有机磺酸盐包括聚苯乙烯磺酸盐、聚乙烯磺酸盐、烷基磺酸盐和烷基苯磺酸盐中的至少一种。

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述聚苯乙烯磺酸盐和所述聚乙烯磺酸盐的分子量独立地为1000-100000。

7.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述烷基磺酸盐和烷基苯磺酸盐的碳原子数≥12。

8.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述明胶的凝结值为10-300bloom。

9.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述阳极选自磷铜阳极。

10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述磷铜阳极中的磷含量为0.03-0.075wt.%。

11.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述电镀在恒温条件下进行。

12.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述电镀的时间为20-1800min。

13.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述电镀过程中还对电镀液施加搅拌。

14.根据权利要求13所述的制备方法,其特征在于,所述搅拌包括循环喷流、空气搅拌、磁力搅拌和机械搅拌中的至少一种。

15.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤(3)所述热处理包括退火处理。

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