[发明专利]一种可实现连续生长石墨烯装置有效
申请号: | 202111557301.0 | 申请日: | 2021-12-18 |
公开(公告)号: | CN114031070B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 李长勇 | 申请(专利权)人: | 北京泰科诺科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 郑雷;庄博强 |
地址: | 102200 北京市昌平区回龙观*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实现 连续 生长 石墨 装置 | ||
本申请公开了一种可实现连续生长石墨烯装置,属于薄膜材料制备的领域,其包括冷却室、安装于冷却室内的移动座及设置于移动座上且用于放置石墨烯样品的样品盒,冷却室的侧面固定有固定板,固定板的顶部沿冷却室的宽度方向滑移设置有移动板,固定板上设置有用于驱动移动板升降的驱动组件,移动板靠近冷却室的侧面沿冷却室的宽度方向滑移安装有移动杆,移动杆顶面用于与样品盒的盒沿相接触。本申请具有减少工作人员被冷却室内具有一定热量保护气体伤害的概率的效果。
技术领域
本申请涉及薄膜材料制备的领域,尤其是涉及一种可实现连续生长石墨烯装置。
背景技术
石墨烯是一种以sp²杂化连接的碳原子紧密堆积成单层二维蜂窝状晶格结构的新材料,石墨烯常见的粉体生产的方法为机械剥离法、氧化还原法及SiC外延生长法,薄膜生产方法为化学气相沉积法。化学气相沉积法是使用含碳有机气体为原料进行气相沉积制得石墨烯薄膜的方法,这是生产石墨烯薄膜最有效的方法。
如公告号为CN207142834U的中国专利申请公开了一种石墨烯生长装置,包括石墨烯沉积系统、沉积炉和小车;石墨烯沉积系统的石墨烯模具和石墨烯基底设置在内石英管内部,内石英管开口端外部设有密闭法兰,密闭法兰上设有进气口和抽气口;沉积炉炉体右侧设有炉口,加热系统为空腔形,水平滑轨固定在炉口下侧,水平滑轨上滑动连接有石英管夹持装置;小车车体内设有水平升降台和水平夹持装置。石墨烯基底和模具放置于内石英管中,沉积后可随内石英管拉出快速降温冷却。
针对上述相关技术,发明人认为:由于石墨烯通常需要在保护气体的环境下进行冷却,打开冷却室的舱门时,舱室内与石墨烯进行热交换的保护气体尚有一定的热量残余,通过人工取出石墨烯样品盒可能会对人体造成一定损伤,导致人工取出样品的过程伴随一定的危险,从而使石墨烯的生产效率降低。
发明内容
为了改善人工取出石墨烯样品盒的过程可能伴随危险的问题,本申请提供一种可实现连续生长石墨烯装置。
本申请提供的一种可实现连续生长石墨烯装置采用如下的技术方案:
一种可实现连续生长石墨烯装置,包括冷却室、安装于所述冷却室内的移动座及设置于所述移动座上且用于放置石墨烯样品的样品盒,所述冷却室的侧面固定有固定板,所述固定板的顶部沿所述冷却室的宽度方向滑移设置有移动板,所述固定板上设置有用于驱动所述移动板升降的驱动组件,所述移动板靠近所述冷却室的侧面沿所述冷却室的宽度方向滑移安装有移动杆,所述移动杆顶面用于与所述样品盒的盒沿相接触。
通过采用上述技术方案,移动板移动至冷却室外侧,移动杆可伸入冷却室内,移动杆在驱动组件的作用下上升并与样品盒的盒沿相抵接,移动杆托动样品盒与移动座分离,移动板能够带动移动杆朝向远离冷却室的方向移动,从而取出样品盒,减少工作人员与样品盒发生直接接触的机会,同时使工作人员与冷却室保持一定的距离,减少工作人员被冷却室内具有一定热量保护气体伤害的概率,从而提高石墨烯的生产效率。
优选的,所述固定板顶面转动安装有沿所述冷却室宽度方向设置的往复丝杠,所述固定板的顶面固定有挡板一,所述挡板一远离所述冷却室的侧面固定有驱动电机,所述驱动电机的输出轴与所述往复丝杠固定连接,所述往复丝杠的外周面螺纹连接有转动圆盘,所述转动圆盘的外周面转动安装有移动块,所述移动块的顶面转动安装有螺纹杆,所述移动板与所述螺纹杆螺纹连接,所述转动圆盘的外周面开设有卡槽,所述转动圆盘通过所述卡槽沿自身径向滑移安装有卡块,所述移动块的底面开设有用于插设所述卡块的同步通槽。
通过采用上述技术方案,卡块插设在同步通槽内,从而使转动圆盘停止转动,移动块在往复丝杠的驱动下沿冷却室的宽度方向移动,从而带动移动板沿冷却室的宽度方向移动,且转动螺纹杆,能够使移动板升降,从而便于移动杆将样品盒与移动座分离。
优选的,所述卡块远离所述移动块的侧面固定有压簧,所述压簧远离所述卡块的一端与所述转动圆盘固定连接。
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