[发明专利]测量单元

说明书

本发明提供一种可抑制噪声的测量单元。本发明的测量单元具有：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与接地部的平面同一平面上；绝缘性的介电部，设于接地部与信号部之间；导电性的第一接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与信号部接触；以及导电性的第二接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与接地部接触。

技术领域

本发明涉及一种测量单元。

背景技术

过去，在半导体集成电路及液晶面板等检查对象的导通状态检查或动作特性检查中，使用连接于检查装置的电缆、及连接于电缆的与检查装置侧相反侧的端部的连接部件(例如，参照专利文献1)。电缆具有：中心处的信号导体、覆盖信号导体的电介质、及覆盖电介质的接地导体。连接部件具有：与信号导体连接的中心接点、以及与接地导体接触的侧方接点。

专利文献1：日本专利4678993号公报

发明内容

然而，记载于专利文献1的构成中，将电缆端部倾斜切割而与连接部件连接。在该连接部分中，传送线路从同轴线路变成所谓共面线路，因为线路变更而容易产生噪声。

本发明是鉴于上述情形而完成的，其目的在于提供一种可抑制噪声的测量单元。

为了解决上述问题而达成目的，本发明的测量单元包括：接地部，其形成导通地线用的电位的线路一部分，且一端侧的表面形成为平面；信号部，其形成导通测量用的信号的线路一部分，且端部露出于与上述接地部的上述平面同一平面上；绝缘性的介电部，其设于上述接地部与上述信号部之间；导电性的第一接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与上述信号部接触；以及导电性的第二接触探针，其沿着纵轴伸缩自如，且与上述接地部接触。

此外，本发明的测量单元，在上述发明中包括：接地板；以及同轴电缆，其连接于上述接地板，上述同轴电缆具有：信号导体，其形成上述信号部的上述线路的一部分；电介质，其设于上述信号导体的外周；以及接地导体，其设于上述电介质的外周，上述信号导体构成上述信号部，上述电介质构成上述介电部，上述接地导体及上述接地板构成上述接地部。

此外，本发明的测量单元，在上述发明中，在上述接地板上形成有贯穿孔，其插通上述接地导体。

此外，本发明的测量单元，在上述发明中，在上述接地板上形成有贯穿孔，其插通上述电介质，上述接地导体与上述接地板的表面电连接。

此外，本发明的测量单元，在上述发明中包括：接地板；以及同轴电缆，其连接于上述接地板，上述接地板具有：信号中继部，其形成上述信号部的上述线路的一部分；以及接地板侧电介质，其覆盖上述信号中继部的外周，上述同轴电缆具有：信号导体，其形成上述信号部的上述线路的一部分，并与上述信号中继部电连接；电缆侧电介质，其设于上述信号导体的外周；以及接地导体，其设于上述电缆侧电介质的外周，在上述接地板的与上述信号中继部及上述接地板侧电介质不同位置与上述接地板电连接，上述信号中继部及上述信号导体构成上述信号部，上述接地板侧电介质及上述电缆侧电介质构成上述介电部，上述接地导体及上述接地板构成上述接地部。

此外，本发明的测量单元，在上述发明中，在上述接地板上连接多条上述同轴电缆。

此外，本发明的测量单元，在上述发明中包括同轴电缆，其具有：信号导体，其形成上述信号部的上述线路；电介质，其设于上述信号导体的外周，而构成上述介电部；以及接地导体，其设于上述电介质的外周，而构成上述接地部，上述接地导体具有：筒状部，其沿着上述信号导体及上述电介质延伸；以及平板部，其设于上述筒状部的一端部，并呈平板状，上述信号导体及上述电介质的端面位于与上述平板部的表面同一平面上。

此外，本发明的测量单元，在上述发明中，包括每组由上述信号导体、上述电介质及上述筒状部构成的多个组。