[发明专利]一种Micro OLED显示结构制备方法在审
申请号: | 202111539411.4 | 申请日: | 2021-12-15 |
公开(公告)号: | CN114203946A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 李雪原;吕迅;朱平;李维维;刘胜芳;赵铮涛 | 申请(专利权)人: | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 方文倩 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 micro oled 显示 结构 制备 方法 | ||
本发明公开了一种Micro OLED显示结构制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、在驱动背板上,使用光刻+干刻的方法制备金属阳极;步骤2、使用激光热转印的方式制备好空穴传输功能层;步骤3、在N2环境下,组装好电化学装置,包括阴极电极、阳极电极及盛装电解液的电解液放置区;步骤4、采用电化学诱导聚合的方法制作彩光层;步骤5、使用激光热转印的方式制备好空穴传输功能层;步骤6、使用热蒸发制备阴极及光耦合层;步骤7、使用ALD及CVD制备薄膜封装层;步骤8、制备玻璃盖板;本发明Micro OLED显示结构制备方法,生产简单快捷,产品性能好,具有较强的实用性和较好的应用前景。
技术领域
本发明属于显示屏技术领域,更具体地说,涉及一种Micro OLED显示结构制备方法。
背景技术
随着科技的进步与科技的发展,人们在追求显示效果的体验上也有着更高的需求,加之穿戴配套显示设备使其物理意义上的方法路径可行,5G时代的到来会解决数据量传输的问题,因此近年来Micro OLED(Organic Light Emitting Display)被称为下一代显示技术的黑马,现已广泛应用于机戴头盔、枪瞄、夜视仪等军用市场,并且随着AR/VR以及自动驾驶等新技术的应用,Micro OLED微显示器将迎来爆发式的增长。
然而由于Micro OLED尺寸过于微小,目前高分辨率的实现,可量产的技术方案为白光+彩色滤光片的形式,真正的Real RGB模式虽然有很多技术探索,但是受制于材料设备及掩模板精度,都不具备量产性。现有的白光+ 彩色滤光片方案,工艺过程较为繁琐,并且经过三层彩色滤光片后,OLED 的出光效率仅为之前的30~40%,极大的限制了Micro OLED显示器的高亮应用。
发明内容
本发明的目的是解决现有技术存在的问题,提供一种简单快捷,产品性能好的Micro OLED显示结构制备方法。
为了实现上述目的,本发明采取的技术方案为:所提供的这种一种Micro OLED显示结构制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、在驱动背板上,使用光刻+干刻的方法制备金属阳极;
步骤2、使用激光热转印的方式制备好空穴传输功能层;
步骤3、在N2环境下,组装好电化学装置,包括阴极电极、阳极电极及盛装电解液的电解液放置区;
步骤4、采用电化学诱导聚合的方法制作彩光层;
步骤5、使用激光热转印的方式制备好空穴传输功能层;
步骤6、使用热蒸发制备阴极及光耦合层;
步骤7、使用ALD及CVD制备薄膜封装层;
步骤8、制备玻璃盖板。
为使上述技术方案更加详尽和具体,本发明还提供以下更进一步的优选技术方案,以获得满意的实用效果:
步骤4中包括以下步骤4-1,将红光溶剂放置在电解液放置区内,并将红色发光分子R1溶解在红光溶剂内,将步骤2中的基板作为阳极基板,将基板上对应行或列上探针连接至阳极电极,放置在设有红光溶剂的电解液放置区内,根据R1分子的氧化还原电位施加电压,将红光发光分子R1制备在相应行或列。
将绿光溶剂放置在电解液放置区内,并将绿色发光分子G1溶解在红光溶剂内,将步骤4-1中的基板作为阳极基板,将基板上对应行或列上探针连接至阳极电极,放置在设有绿光溶剂的电解液放置区内,根据G1分子的氧化还原电位施加电压,将绿光发光分子G1制备在相应行或列。
将蓝光溶剂放置在电解液放置区内,并将篮色发光分子B1溶解在红光溶剂内,将步骤4-2中的基板作为阳极基板,将基板上对应行或列上探针连接至阳极电极,放置在设有蓝光溶剂的电解液放置区内,根据B1分子的氧化还原电位施加电压,将蓝光发光分子B1制备在相应行或列。
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