[发明专利]一种电容式差压传感器稳形结构

权利要求书

1.一种电容式差压传感器稳形结构，包括两个第一膜座(110)，两个所述第一膜座(110)之间夹设有膜片(120)，两个所述第一膜座(110)边缘对焊连接以将所述膜片(120)固定，每个所述第一膜座(110)与所述膜片(120)之间形成密封的感应腔(130)，每个所述感应腔(130)分别连接有引压管(160)，每个所述引压管(160)分别从相应的所述第一膜座(110)密封穿出，其特征在于：每个所述第一膜座(110)外分别设置有稳压块(140)，所述稳压块(140)与相应的所述第一膜座(110)外侧边缘密封固定连接，所述稳压块(140)与相应的所述第一膜座(110)之间围成稳压腔(150)，所述稳压腔(150)与位于所述膜片(120)同侧的所述感应腔(130)分居于相应的所述第一膜座(110)两侧，所述稳压腔(150)与位于所述膜片(120)同侧的所述感应腔(130)或所述引压管(160)连通。

2.根据权利要求1所述的一种电容式差压传感器稳形结构，其特征在于：所述引压管(160)的内端开口于相应的所述感应腔(130)，所述引压管(160)向外先后密封穿过位于所述膜片(120)同侧的所述第一膜座(110)和稳压块(140)，且在对应的所述稳压腔(150)内开口，以与该稳压腔(150)连通。

3.根据权利要求1或2所述的一种电容式差压传感器稳形结构，其特征在于：所述稳压块(140)为第二膜座，所述第二膜座的结构与所述第一膜座(110)相同；

所述第一膜座(110)呈圆盘状，其朝向所述膜片(120)一侧开有凹槽；

所述第二膜座上的凹槽朝向相应的所述第一膜座(110)外侧面。

4.根据权利要求3所述的一种电容式差压传感器稳形结构，其特征在于：所述第一膜座(110)包括玻璃材质的内圆盘(111)和金属材质的外圆盘(112)，所述内圆盘(111)的内侧面上开设有所述凹槽，所述内圆盘(111)与所述外圆盘(112)熔结，所述内圆盘(111)的外侧面和边缘被所述外圆盘(112)覆盖；

两个所述第一膜座(110)的外圆盘(112)的边缘夹持所述膜片(120)并焊接连接。

5.根据权利要求4所述的一种电容式差压传感器稳形结构，其特征在于：所述第一膜座(110)中心穿设有直管(161)，该直管(161)的两端分别开口于所述凹槽槽底面和外圆盘(112)外侧面，该直管(161)管壁与所述内圆盘(111)和外圆盘(112)密封。

6.根据权利要求5所述的一种电容式差压传感器稳形结构，其特征在于：所述第二膜座中心穿设有弯管(162)，该弯管(162)的内端开口于所述第二膜座的凹槽槽底面，该弯管(162)的内端与所述直管(161)的外端正对，该弯管(162)的外端向外穿出所述第二膜座，该弯管(162)的外壁与所述第二膜座密封。