[发明专利]一种电容式差压传感器稳形结构

说明书

本发明公开了一种电容式差压传感器稳形结构，包括两个第一膜座，两个第一膜座之间夹设有膜片，两个第一膜座边缘对焊连接以将膜片固定，每个第一膜座与膜片之间形成密封的感应腔，每个感应腔分别连接有引压管，每个引压管分别从相应的第一膜座密封穿出，每个第一膜座外分别设置有稳压块，稳压块与相应的第一膜座外侧边缘密封固定连接，从而围成稳压腔，稳压腔与位于膜片同侧的感应腔分居于相应的第一膜座两侧，稳压腔与同侧的感应腔或引压管连通。本发明的有益效果：对于每个第一膜座，由于其两侧的稳压腔与感应腔内液体压力始终一致，因此可以抑制高压状态下第一膜座向外变形，从而提高测量精度。

技术领域

本发明涉及一种压力测量装置，具体涉及一种电容式差压传感器稳形结构。

背景技术

压力变送器广泛应用于流体压力和流量测量装置上。一类压力变送器的核心检测元件是膜片式差压传感器。膜片式差压传感器将流体不同位置的两个压力信号转换为电容信号的变化，接着后端的检测电路对电容信号的变化进行处理，得到外加压力的差压值。

膜片式差压传感器包括两个圆盘状的膜座，两个膜座之间设有测量膜片，两个膜座对焊连接，将测量膜片夹紧。测量膜片与两个膜座之间分别设有用于容纳硅油的感应腔，两个感应腔分别连接有引压管，引压管将外部待测压力引入测量膜片两侧。由于两侧压强不同，测量膜片向压强较小侧变形，变形量的大小反映为电容信号的变化。

在测量高压流体时，感应腔内的压力显著增大，虽然膜座由刚性材料制成，但高压下两个膜座会向外膨胀变形，这种微量的变形也将对测量膜片的形变产生干扰，导致测量精度降低。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种电容式差压传感器稳形结构。

其技术方案如下：

一种电容式差压传感器稳形结构，包括两个第一膜座，两个所述第一膜座之间夹设有膜片，两个所述第一膜座边缘对焊连接以将所述膜片固定，每个所述第一膜座与所述膜片之间形成密封的感应腔，每个所述感应腔分别连接有引压管，每个所述引压管分别从相应的所述第一膜座密封穿出，其关键在于，每个所述第一膜座外分别设置有稳压块，所述稳压块与相应的所述第一膜座外侧边缘密封固定连接，所述稳压块与相应的所述第一膜座之间围成稳压腔，所述稳压腔与位于所述膜片同侧的所述感应腔分居于相应的所述第一膜座两侧，所述稳压腔与位于所述膜片同侧的所述感应腔或所述引压管连通。

作为优选技术方案，上述引压管的内端开口于相应的所述感应腔，所述引压管向外先后密封穿过位于所述膜片同侧的所述第一膜座和稳压块，且在对应的所述稳压腔内开口，以与该稳压腔连通。

作为优选技术方案，上述稳压块为第二膜座，所述第二膜座的结构与所述第一膜座相同；

所述第一膜座呈圆盘状，其朝向所述膜片一侧开有凹槽；

所述第二膜座上的凹槽朝向相应的所述第一膜座外侧面。

作为优选技术方案，上述第一膜座包括玻璃材质的内圆盘和金属材质的外圆盘，所述内圆盘的内侧面上开设有所述凹槽，所述内圆盘与所述外圆盘熔结，所述内圆盘的外侧面和边缘被所述外圆盘覆盖；

两个所述第一膜座的外圆盘的边缘夹持所述膜片并焊接连接。

作为优选技术方案，上述第一膜座中心穿设有直管，该直管的两端分别开口于所述凹槽槽底面和外圆盘外侧面，该直管管壁与所述内圆盘和外圆盘密封。

作为优选技术方案，上述第二膜座中心穿设有弯管，该弯管的内端开口于所述第二膜座的凹槽槽底面，该弯管的内端与所述直管的外端正对，该弯管的外端向外穿出所述第二膜座，该弯管的外壁与所述第二膜座密封。

与现有技术相比，本发明的有益效果：对于每个第一膜座，由于其两侧的稳压腔与感应腔内液体压力始终一致，因此可以抑制高压状态下第一膜座向外变形，从而提高测量精度。

附图说明