[发明专利]基板固定单元、基板处理装置和方法

权利要求书

1.一种基板固定单元，其特征在于，包括：

连接构件；

固定构件，包括设置在所述固定构件的固定表面的第一区域的粘附材料层；

真空吸附构件，所述真空吸附构件的真空吸附区位于所述固定构件的固定表面的第二区域；

拉力感应构件，位于所述连接构件和所述固定构件之间。

2.如权利要求1所述的基板固定单元，其特征在于，所述第一区域围绕所述第二区域，所述粘附材料层围绕所述真空吸附区设置。

3.如权利要求1所述的基板固定单元，其特征在于，所述固定构件还包括在所述固定表面的第三区域内间隔设置的粘附材料段，所述粘附材料段之间的缺口区域与所述真空吸附区连通。

4.如权利要求1所述的基板固定单元，其特征在于，所述固定构件在第一区域内形成凹槽，所述粘附材料层设置在所述凹槽内。

5.如权利要求1所述的基板固定单元，其特征在于，所述粘附材料层的材料包括合成橡胶或者硅胶中的一种。

6.如权利要求1所述的基板固定单元，其特征在于，所述连接构件的外表面设置有螺丝纹，所述真空吸附构件的管道贯穿所述连接构件。

7.如权利要求1至6任一项所述的基板固定单元，其特征在于，所述拉力感应构件包括拉压力传感器、信号处理器、通信单元以及供电单元，所述拉压力传感器设置在所述连接构件和所述固定构件之间，用于感应所述粘附材料层的拉压力变化。

8.如权利要求7所述的基板固定单元，其特征在于，所述通信单元包括无线通信单元。

9.一种基板处理装置，其特征在于，包括：驱动构件以及如权利要求1至8任一项所述的基板固定单元，所述基板固定单元通过连接构件与所述驱动构件固定连接，并在所述驱动构件的驱动下移动基板。

10.一种基板处理方法，其特征在于，包括：通过如权利要求9所述的基板处理装置移动基板的步骤。