[发明专利]一种宽量程压力测量膜盒

说明书

本发明公开了一种宽量程压力测量膜盒，包括两个或以上的电容式的差压传感器模块和两个压力传导通道，各个差压传感器模块的测量范围依次升高，且测量范围相邻的两个差压传感器模块的测量范围部分重叠，从而获得连续的量程，差压传感器模块内设有由膜片分隔形成的两个密封的感应腔，每个感应腔分别连接有引压管，每个差压传感器模块的两个引压管分别与两个压力传导通道一一对应并连通，差压传感器模块具有过载保护功能。本发明的有益效果：量程比大幅提高，同时兼顾测量精度。

技术领域

本发明涉及一种压力测量装置，具体涉及一种宽量程压力测量膜盒。

背景技术

压力变送器广泛应用于流体压力和流量测量装置上。一类压力变送器的核心检测元件是膜片式差压传感器。膜片式差压传感器将流体不同位置的两个压力信号转换为电容信号的变化，接着后端的检测电路对电容信号的变化进行处理，得到外加压力的差压值。

膜片式差压传感器包括两个圆盘状的膜座，两个膜座之间设有测量膜片，两个膜座对焊连接，将测量膜片夹紧。测量膜片与两个膜座之间分别设有用于容纳硅油的感应腔，两个感应腔分别连接有引压管，引压管将外部待测压力引入测量膜片两侧。由于两侧压强不同，测量膜片向压强较小侧变形，变形量的大小反映为电容信号的变化。

一般来说，单个压力测量模块内配置一个膜片式差压传感器，这一膜片式差压传感器的性能参数固定，具有固定的压力测量范围。并且，测量范围值与测量精度难以兼顾，高测量范围值的膜片式差压传感器相对精度较低，而膜片式差压传感器相对精度较高时，测量范围值较低。但一些应用场景对测量范围的宽度要求较大，并且要求测量精度高。因此，需要从整体结构考虑，以使传感器模块满足宽量程、高精度的要求。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种宽量程压力测量膜盒。

其技术方案如下：

一种宽量程压力测量膜盒，其关键在于，包括两个或以上的电容式的差压传感器模块和两个压力传导通道，各个所述差压传感器模块的测量范围依次升高，且测量范围相邻的两个所述差压传感器模块的测量范围部分重叠，从而获得连续的量程；

所述差压传感器模块内设有由膜片分隔形成的两个密封的感应腔，每个所述感应腔分别连接有引压管；

每个所述差压传感器模块的两个所述引压管分别与两个所述压力传导通道一一对应，与同一所述压力传导通道对应的所有所述引压管均与该压力传导通道连通；

所述差压传感器模块具有过载保护功能。

作为优选技术方案，上述差压传感器模块包括两个圆盘状的第一膜座，两个所述第一膜座之间夹设有膜片，两个所述第一膜座边缘对焊连接以将所述膜片固定，每个所述第一膜座与所述膜片之间形成密封的所述感应腔；

不同测量范围的所述差压传感器模块的所述膜片在相同压差下的偏移变形量不同；

所述差压传感器模块的所述膜片在变形量最大时贴靠相应的所述第一膜座。

作为优选技术方案，较高测量范围的所述差压传感器模块的膜片厚度大于较低测量范围的所述差压传感器模块的膜片厚度。

作为优选技术方案，每个所述差压传感器模块分别对应其感应腔设置有静压补偿结构；

所述静压补偿结构包括设置在每个所述第一膜座外的第二膜座，所述第二膜座与相应的所述第一膜座外侧边缘密封固定连接，所述第二膜座与相应的所述第一膜座之间围成稳压腔，所述稳压腔与位于所述膜片同侧的所述感应腔连通。

作为优选技术方案，上述第二膜座与所述第一膜座结构相同；

所述第一膜座朝向所述膜片一侧开有凹槽，所述第二膜座上的凹槽朝向相应的所述第一膜座外侧面；