[发明专利]一种宽量程压力测量膜盒

权利要求书

1.一种宽量程压力测量膜盒，其特征在于：包括两个或以上的电容式的差压传感器模块(100)和两个压力传导通道，各个所述差压传感器模块(100)的测量范围依次升高，且测量范围相邻的两个所述差压传感器模块(100)的测量范围部分重叠，从而获得连续的量程；

所述差压传感器模块(100)内设有由膜片(120)分隔形成的两个密封的感应腔(130)，每个所述感应腔(130)分别连接有引压管(160)；

每个所述差压传感器模块(100)的两个所述引压管(160)分别与两个所述压力传导通道一一对应，与同一所述压力传导通道对应的所有所述引压管(160)均与该压力传导通道连通；

所述差压传感器模块(100)具有过载保护功能。

2.根据权利要求1所述的一种宽量程压力测量膜盒，其特征在于：所述差压传感器模块(100)包括两个圆盘状的第一膜座(110)，两个所述第一膜座(110)之间夹设有膜片(120)，两个所述第一膜座(110)边缘对焊连接以将所述膜片(120)固定，每个所述第一膜座(110)与所述膜片(120)之间形成密封的所述感应腔(130)；

不同测量范围的所述差压传感器模块(100)的所述膜片(120)在相同压差下的偏移变形量不同；

所述差压传感器模块(100)的所述膜片(120)在变形量最大时贴靠相应的所述第一膜座(110)。

3.根据权利要求2所述的一种宽量程压力测量膜盒，其特征在于：较高测量范围的所述差压传感器模块(100)的膜片(120)厚度大于较低测量范围的所述差压传感器模块(100)的膜片(120)厚度。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的一种宽量程压力测量膜盒，其特征在于：每个所述差压传感器模块(100)分别对应其感应腔(130)设置有静压补偿结构；

所述静压补偿结构包括设置在每个所述第一膜座(110)外的第二膜座(140)，所述第二膜座(140)与相应的所述第一膜座(110)外侧边缘密封固定连接，所述第二膜座(140)与相应的所述第一膜座(110)之间围成稳压腔(150)，所述稳压腔(150)与位于所述膜片(120)同侧的所述感应腔(130)连通。

5.根据权利要求4所述的一种宽量程压力测量膜盒，其特征在于：所述第二膜座(140)与所述第一膜座(110)结构相同；

所述第一膜座(110)朝向所述膜片(120)一侧开有凹槽，所述第二膜座(140)上的凹槽朝向相应的所述第一膜座(110)外侧面；

每个所述感应腔(130)连接的所述引压管(160)向外先后密封穿过所述第一膜座(110)和第二膜座(140)，并在相应的所述稳压腔(150)内开口。

6.根据权利要求5所述的一种宽量程压力测量膜盒，其特征在于：所述第一膜座(110)包括玻璃材质的内圆盘(111)和金属材质的外圆盘(112)，所述内圆盘(111)的内侧面上开设有所述凹槽，所述内圆盘(111)与所述外圆盘(112)熔结，所述内圆盘(111)的外侧面和边缘被所述外圆盘(112)覆盖；

所述膜片(120)为金属材质，两个所述第一膜座(110)的外圆盘(112)的边缘夹持所述膜片(120)并焊接连接；

所述引压管(160)包括直管(161)和弯管(162)；

所述直管(161)穿设在所述第一膜座(110)中心，该直管(161)的两端分别开口于所述内圆盘(111)的凹槽槽底面和外圆盘(112)外侧面，该直管(161)管壁与所述内圆盘(111)和外圆盘(112)密封；

所述第二膜座(140)中心穿设有所述弯管(162)，该弯管(162)的内端开口于所述第二膜座(140)的凹槽槽底面，该弯管(162)的内端与所述直管(161)的外端正对，该弯管(162)的外端向外穿出所述第二膜座(140)，该弯管(162)的外壁与所述第二膜座(140)密封。